基于OpenGL的MEMS工艺几何仿真技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·MEMS CAD概述 | 第7-9页 |
| ·工艺几何仿真的国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·本论文的研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 版图文件与工艺文件 | 第13-25页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·版图文件 | 第13-19页 |
| ·命令格式 | 第14-17页 |
| ·微机械陀螺的版图设计 | 第17-19页 |
| ·工艺文件 | 第19-24页 |
| ·工艺建模 | 第19-23页 |
| ·工艺编辑器 | 第23-24页 |
| ·微机械陀螺的工艺设计 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 几何仿真系统的设计 | 第25-31页 |
| ·系统的开发工具 | 第25-26页 |
| ·开发工具的选择 | 第25-26页 |
| ·VC++结合OpenGL的开发框架 | 第26页 |
| ·系统的设计流程 | 第26-27页 |
| ·数据结构设计 | 第27-30页 |
| ·输入信息存取结构 | 第27-29页 |
| ·系统结构 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 仿真算法设计 | 第31-47页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·基础算法 | 第31-44页 |
| ·凹多边形的分割算法 | 第31-33页 |
| ·圆的多边形表示算法 | 第33-36页 |
| ·多边形的布尔运算 | 第36-42页 |
| ·模型上表面图形的获取 | 第42-44页 |
| ·工艺处理算法 | 第44-46页 |
| ·创建基体算法 | 第44页 |
| ·沉积算法 | 第44页 |
| ·刻蚀算法 | 第44-45页 |
| ·键合算法 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 仿真结果及其实体文件 | 第47-58页 |
| ·微机械陀螺的仿真结果 | 第47-51页 |
| ·SAT文件 | 第51-53页 |
| ·文件内容 | 第51-52页 |
| ·实体记录信息 | 第52-53页 |
| ·输出实现 | 第53-57页 |
| ·数据结构 | 第54页 |
| ·模型信息记录 | 第54-56页 |
| ·文件的输出 | 第56-57页 |
| ·微机械陀螺实体文件的输出 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 总结与展望 | 第58-61页 |
| 总结 | 第58-59页 |
| 展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第64页 |
| 参与课题情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-72页 |
| 附录一 微机械陀螺的CIF文件 | 第66-67页 |
| 附录二 系统数据结构定义代码 | 第67-69页 |
| 附录三 微机械陀螺的SAT文件 | 第69-72页 |
