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含氦纳米膜的制备及其固氦特性研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
目录第7-9页
1.引言第9-15页
   ·金属中氦行为的研究历史及现状第9-11页
   ·金属中氦行为的研究方法第11-13页
     ·氦行为理论模拟第11-12页
     ·氦行为的实验研究第12-13页
   ·纳米晶材料的特性第13-14页
   ·纳米晶材料储氦研究意义第14-15页
   ·本论文的主要内容第15页
2.离子束辅助磁控He、Ar共溅射沉积含He纳米晶膜实验技术第15-20页
   ·磁控溅射沉积法制备纳米含氦膜方法的建立第15-16页
   ·工作原理第16-18页
   ·方法的特色第18页
   ·技术创新点与工艺特色第18-19页
   ·膜沉积设备与装置第19-20页
3.含氦纳米晶Ti膜及LaNiAl膜表征方法第20-31页
   ·样品的制备第20-21页
   ·样品的表征第21-31页
     ·X射线衍射分析第21页
     ·质子背散射分析第21-29页
       ·卢瑟福背散射分析原理第21-24页
       ·增强质子背散射分析第24-25页
       ·实验装置及实验条件的选择第25-29页
         ·实验装置第25-26页
         ·多道分析器的刻度第26-27页
         ·分析程序SIMNRA第27-29页
     ·透射电镜分析第29页
     ·原子力显微镜分析第29-30页
     ·中子衍射分析第30页
     ·热解吸谱分析第30-31页
4.He、Ar磁控共溅射沉积含He纳米晶膜实验结果及讨论第31-56页
   ·纳米晶Ti膜储He结果及讨论第31-46页
     ·沉积工艺对钛膜晶粒尺寸与含He量的影响研究第31-39页
       ·沉积弧流对纳米晶钛膜的氦含量和晶粒大小的影响第31-33页
       ·He/Ar比对纳米晶钛膜的氦含量和晶粒大小的影响第33-34页
       ·温度对纳米晶钛膜的氦含量和晶粒大小的影响第34-37页
       ·衬底材料对膜中含氦量的影响第37-39页
     ·纳米晶钛膜中He的室温保持第39-43页
     ·含He钛膜中He在晶格中的结合能位置第43-46页
       ·典型样品的TEM晶格象第43-44页
       ·热解吸实验展示的He结合能位置第44-45页
       ·含氦纳米Ti膜材的储H能力第45-46页
   ·纳米晶LaNiAI膜储He结果及讨论第46-56页
     ·LaNiAl体材溅射靶的相结构第46-47页
     ·LaNiAl膜的结晶温度第47-48页
     ·一定温区下的可储He膜的含He量第48-51页
     ·热解吸He释放峰温区确定的含He位置第51-52页
     ·中子衍射用含He纳米晶粉体的制备与He位置分析第52-56页
5.结论第56-57页
可进一步开展的工作第57-59页
参考文献第59-65页
附录第65-67页
致谢第67页

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