基于时间差法的光学共焦测头的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·测头的发展及国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·三坐标测头 | 第8-13页 |
| ·三坐标测头主要发展方向 | 第13-14页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 共焦法测头测量原理 | 第15-23页 |
| ·动态主动调焦法共焦式测头测量原理 | 第15-16页 |
| ·动态主动调焦法共焦式测头光路计算 | 第16-18页 |
| ·影响测量精度的振动参数分析 | 第18-20页 |
| ·透镜振动对测量精度影响的分析 | 第18-19页 |
| ·音叉振动机构 | 第19-20页 |
| ·时间差法的测量原理 | 第20-21页 |
| ·基于时间差法的光学共焦式测头的结构方案 | 第21-23页 |
| 第三章 系统结构设计 | 第23-33页 |
| ·音叉振动系统的结构设计 | 第23-28页 |
| ·音叉结构尺寸的确定 | 第23-25页 |
| ·音叉正反馈激励系统设计 | 第25-28页 |
| ·光信号探测结构 | 第28-29页 |
| ·光学器件的选择 | 第29-31页 |
| ·激光光源的选择 | 第29-30页 |
| ·分光镜的选择 | 第30页 |
| ·光学滤光片的选择 | 第30-31页 |
| ·共焦测头的机械结构 | 第31-33页 |
| 第四章 信号处理系统设计 | 第33-53页 |
| ·信号处理系统的组成 | 第33-34页 |
| ·音叉激振电路 | 第34-35页 |
| ·带通滤波电路 | 第35-38页 |
| ·带通滤波电路的设计 | 第35-37页 |
| ·带通滤波器的调试 | 第37-38页 |
| ·交叉反馈型滞回比较电路 | 第38-42页 |
| ·交叉反馈型比较电路的原理及电路 | 第39-40页 |
| ·滞回比较电路的调试 | 第40-42页 |
| ·光电信号转换放大电路 | 第42-44页 |
| ·I/V变换电路 | 第42-43页 |
| ·I/V变换电路及放大电路电路图 | 第43-44页 |
| ·CPU控制系统 | 第44-48页 |
| ·CPU器件选型 | 第44-46页 |
| ·单片机对FPGA进行配置 | 第46-47页 |
| ·CPU控制串口通信 | 第47-48页 |
| ·FPGA数字系统 | 第48-53页 |
| ·FPGA技术简介 | 第48-50页 |
| ·FPGA结构及器件选型 | 第50-51页 |
| ·FPGA硬件电路连接 | 第51-53页 |
| 第五章 软件设计 | 第53-58页 |
| ·FPGA求取时间差的算法 | 第53-56页 |
| ·FPGA管脚分配以及与CPU通讯 | 第56-58页 |
| 第六章 激光测头实验 | 第58-64页 |
| ·音叉振动稳定性实验 | 第58-59页 |
| ·激光测头分辨力实验 | 第59-62页 |
| ·激光测头重复性实验 | 第62页 |
| ·激光测头稳定性实验 | 第62-63页 |
| ·激光测头短期稳定性实验 | 第62-63页 |
| ·激光测头长期稳定性实验 | 第63页 |
| ·实验总结 | 第63-64页 |
| 第七章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·主要工作总结 | 第64-65页 |
| ·技术展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
