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用于高密度信息存储的环形滤光器件的理论和实验研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-11页
第一章 绪论第11-18页
   ·本课题研究目的及意义第11-12页
   ·信息存储技术的发展历程及研究现状第12-15页
     ·磁存储技术第12-13页
     ·磁光存储技术第13-14页
     ·光存储技术第14-15页
   ·本论文研究的主要内容第15-18页
第二章 光存储技术的理论基础第18-34页
   ·光的衍射现象及理论基础第18-23页
     ·惠更斯—菲涅耳原理第18-20页
     ·菲涅耳衍射第20-22页
     ·夫琅和费衍射第22-23页
   ·圆孔衍射焦距附近的三维光分布第23-27页
   ·光存储技术分类第27-33页
     ·远场光存储技术第27-30页
     ·近场光存储技术第30-33页
   ·本章小结第33-34页
第三章 基于遗传算法的环形滤光片的设计第34-54页
   ·遗传算法概述第34-41页
     ·遗传算法的基本概念第34-38页
     ·遗传算法的改进第38-40页
     ·遗传算法的应用第40-41页
   ·二元环形滤光片的设计方案第41-47页
     ·基于统计学的横向和轴向的分辨率分析第41-43页
     ·基于遗传算法的二元环形滤光片设计第43-45页
     ·理论模拟的结果分析第45-47页
   ·多元环形滤光片的设计方案第47-53页
     ·基于衍射理论的横向和轴向的强度分析第47-49页
     ·基于遗传算法的多元环形滤光片设计第49-51页
     ·理论模拟的结果分析第51-53页
   ·本章小结第53-54页
第四章 二元环形滤光片的制作及实验结果第54-65页
   ·光刻工艺流程及实验结果分析第54-61页
     ·二元环形滤光片衍射图形掩模版设计制作第54-56页
     ·光刻工艺流程第56-59页
     ·光刻实验结果分析第59-61页
   ·超分辨实验及结果分析第61-64页
     ·光学测试系统的构建第61-63页
     ·实验结果分析第63-64页
   ·本章小结第64-65页
第五章 总结及展望第65-67页
   ·本文工作总结第65-66页
   ·下一步工作思路第66-67页
参考文献第67-70页
附录第70-72页
致谢第72-73页
攻读学位期间发表的学术论文第73页

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