Ge/Si半导体量子点应力应变分布研究
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-8页 |
第一章 绪论 | 第8-19页 |
·半导体量子点材料概述 | 第9-11页 |
·半导体量子点材料概念 | 第9-10页 |
·半导体量子点材料的特殊效应 | 第10-11页 |
·自组织生长量子点研究的必要性 | 第11-12页 |
·量子点基本制备方法 | 第12-15页 |
·自上而下生长方式 | 第12-13页 |
·自下而上生长方式 | 第13-15页 |
·量子点内应变分布研究现状 | 第15-17页 |
·实验研究 | 第16页 |
·理论研究 | 第16-17页 |
·论文研究内容 | 第17-19页 |
第二章 弹性理论及有限单元法 | 第19-27页 |
·弹性理论 | 第19-22页 |
·有限单元法简介 | 第22-27页 |
·有限单元法的基本思想 | 第22页 |
·有限单元法的优点 | 第22-23页 |
·有限单元法的原理 | 第23-27页 |
第三章 非埋置量子点有限元分析 | 第27-34页 |
·有限元几何模型 | 第27页 |
·本构方程的建立和边界条件的推导 | 第27-29页 |
·量子点应力应变分布的有限元分析 | 第29-33页 |
·本章小结 | 第33-34页 |
第四章 埋置量子点有限元分析 | 第34-42页 |
·几何模型和本构方程 | 第34-36页 |
·量子点应力应变分布的有限元分析 | 第36-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
第五章 量子点的相关能量和平衡形态 | 第42-53页 |
·异质外延薄膜中的应变能 | 第42-43页 |
·岛状薄膜中的应变能 | 第43-44页 |
·非埋置量子点的相关能量与平衡形态 | 第44-48页 |
·埋置量子点的相关能量 | 第48页 |
·平衡态高宽比随量子点体积变化的规律 | 第48-51页 |
·本章小结 | 第51-53页 |
第六章 总结与展望 | 第53-55页 |
·总结 | 第53-54页 |
·展望 | 第54-55页 |
参考文献 | 第55-59页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59-60页 |
致谢 | 第60页 |