| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-11页 |
| ·课题背景 | 第8-10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10页 |
| ·论文纲要 | 第10-11页 |
| 第二章 湿度传感器介绍 | 第11-20页 |
| ·湿度的定义与表示方法 | 第11-12页 |
| ·传统的湿度传感器 | 第12-13页 |
| ·毛发湿度计 | 第12页 |
| ·露点测定仪 | 第12页 |
| ·干湿球湿度计 | 第12-13页 |
| ·基于CMOS MEMS技术的微型湿度传感器 | 第13-17页 |
| ·悬臂梁结构湿度传感器 | 第13-15页 |
| ·硅压阻型湿度传感器 | 第15页 |
| ·基于热传导的CMOS集成湿度传感器 | 第15-16页 |
| ·硅电容式单片集成湿度传感器 | 第16-17页 |
| ·湿度传感器的性能指标 | 第17-19页 |
| ·湿度量程 | 第17-18页 |
| ·相对湿度特性曲线 | 第18页 |
| ·灵敏度 | 第18页 |
| ·湿度温度系数 | 第18页 |
| ·响应时间 | 第18-19页 |
| ·滞回特征 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 CMOS工艺兼容的温湿度传感器设计与制备 | 第20-32页 |
| ·温湿度传感器结构设计 | 第20-21页 |
| ·传感器结构设计 | 第20页 |
| ·感湿介质选择 | 第20-21页 |
| ·感湿模型及有限元模拟 | 第21-26页 |
| ·感湿原理 | 第21页 |
| ·感湿模型分析 | 第21-24页 |
| ·利用有限元分析传感器结构 | 第24-25页 |
| ·湿度传感器结构理论模型 | 第25-26页 |
| ·温湿度传感器的制备及后处理 | 第26-31页 |
| ·制备工艺流程 | 第26-27页 |
| ·温湿度传感器版图设计 | 第27-28页 |
| ·后处理 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 温湿度传感器的性能测试 | 第32-42页 |
| ·流水结果 | 第32页 |
| ·温湿度传感器性能测试 | 第32-40页 |
| ·湿度量程 | 第34页 |
| ·灵敏度测试 | 第34-35页 |
| ·滞回特性测试 | 第35-36页 |
| ·响应时间测量 | 第36-37页 |
| ·温度特性测试 | 第37-39页 |
| ·稳定性测试 | 第39-40页 |
| ·温度传感器的测试 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 单片集成湿度传感器处理电路的设计 | 第42-55页 |
| ·电容－频率转换电路 | 第42-44页 |
| ·电容－电流转换电路 | 第44-45页 |
| ·电容－电压转换电路 | 第45-47页 |
| ·片上处理电路的具体设计 | 第47-54页 |
| ·运算放大器电路 | 第48-52页 |
| ·模拟开关 | 第52页 |
| ·湿度传感器处理电路的计算机模拟 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器工艺及版图设计 | 第55-62页 |
| ·CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器的加工工艺 | 第55-58页 |
| ·CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器的版图设计 | 第58-60页 |
| ·金属铝版 | 第59页 |
| ·钝化层版 | 第59-60页 |
| ·流水结果 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第七章 CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器性能测试 | 第62-65页 |
| ·单片集成湿度传感器的封装 | 第62-63页 |
| ·单片集成湿度传感器的测试 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第八章 结束语 | 第65-67页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·存在问题及展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录1 湿度传感器处理电路的Pspice文件 | 第70-71页 |
| 附录2 24 所版图设计规则 | 第71-73页 |
| 作者简介 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位器件申请专利 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |