基于微器件的超声微细加工基础试验研究
| 第一章 绪论 | 第1-22页 |
| ·微细加工技术及微细制造技术概述 | 第12-14页 |
| ·特种微细加工技术的概述 | 第14-16页 |
| ·超声加工技术的国内外研究现状 | 第16-19页 |
| ·深小孔加工 | 第16-17页 |
| ·难加工材料 | 第17-18页 |
| ·超声复合加工 | 第18-19页 |
| ·超声微细加工国内外研究现状及发展趋势 | 第19-20页 |
| ·本论文课题研究的目的、意义和主要任务 | 第20-22页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要任务 | 第21-22页 |
| 第二章 超声加工 | 第22-34页 |
| ·超声加工的基本原理和技术特点 | 第22-31页 |
| ·超声波的特点 | 第22-24页 |
| ·超声加工的基本原理及加工实质 | 第24-25页 |
| ·超声加工的基本特点 | 第25-26页 |
| ·超声加工的基本工艺规律 | 第26-31页 |
| ·超声微细加工实现的特殊要求 | 第31页 |
| ·超声电解复合微细加工 | 第31-33页 |
| ·超声电解复合微细加工的原理及应用 | 第31-33页 |
| ·超声电解复合微细加工实现的特殊要求 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 超声变幅杆的设计与制作 | 第34-43页 |
| ·超声变幅杆概述 | 第34-37页 |
| ·变幅杆作用 | 第34-35页 |
| ·变幅杆形状及其特点 | 第35-36页 |
| ·变幅杆材料 | 第36页 |
| ·变幅杆设计步骤 | 第36-37页 |
| ·超声微细加工变幅杆设计与制作 | 第37-42页 |
| ·圆截面指数形变幅杆 | 第38-40页 |
| ·圆截面阶梯形变幅杆 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 微细工具头（工具阴极）的设计 | 第43-52页 |
| ·超声微细加工工具头设计 | 第43-46页 |
| ·微细工具头材料选择 | 第43-44页 |
| ·工具头与变幅杆的联结方式选择及工具头长度设计 | 第44-45页 |
| ·工具头总体设计及成形端面设计 | 第45页 |
| ·本论文微细工具头设计 | 第45-46页 |
| ·超声微细加工工具头制作 | 第46-51页 |
| ·微细工具头加工方法 | 第46-47页 |
| ·工具头总体加工 | 第47-48页 |
| ·工具头端部成形部位加工 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 试验及结果分析 | 第52-75页 |
| ·试验材料简介 | 第52-55页 |
| ·单晶硅 | 第52-53页 |
| ·压电陶瓷 | 第53-55页 |
| ·硬质合金 | 第55页 |
| ·硬脆非金属材料的超声微细加工试验 | 第55-67页 |
| ·超声微细加工基础试验设备 | 第56-58页 |
| ·试验工艺参数选择 | 第58-61页 |
| ·试验及结果分析 | 第61-67页 |
| ·硬质合金的超声电解复合微细加工试验 | 第67-73页 |
| ·超声电解复合微细加工系统设计及改造 | 第67-68页 |
| ·电、机、液参数的选择及确定 | 第68-69页 |
| ·硬质合金材料的超声电解复合微细加工试验 | 第69-73页 |
| ·试验结果分析总结 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-80页 |
| ·本论文研究成果及结论 | 第75-76页 |
| ·对今后工作的展望 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 主要参考文献 | 第82-85页 |
