| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1. 等离子体诊断学的发展历程 | 第7-13页 |
| ·等离子体的基本特征 | 第7-8页 |
| ·等离子体诊断方法分类 | 第8页 |
| ·等离子体静电探针法的演变历程和适用范围 | 第8-10页 |
| ·等离子体光谱学的发展 | 第10-11页 |
| ·等离子体相关学科的发展提出了新的诊断领域 | 第11-12页 |
| ·本文的研究内容和目标 | 第12-13页 |
| 2. Langmuir探针系统及抗干扰方法 | 第13-25页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·Langmuir探针 | 第13-15页 |
| ·Langmuir探针工作原理 | 第13-14页 |
| ·由探针I-V特性曲线获取等离子体参数的步骤 | 第14-15页 |
| ·Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法 | 第15-23页 |
| ·Langmuir探针在等离子体诊断中的干扰问题 | 第15-16页 |
| ·Langrnuir探针的抗干扰方法 | 第16-23页 |
| ·滤波器 | 第16-20页 |
| ·差分放大器 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 3. 新型积分Langmuir探针系统 | 第25-37页 |
| ·积分Langmuir探针系统结构 | 第25页 |
| ·积分网络 | 第25-28页 |
| ·积分探针系统主要特点 | 第28-32页 |
| ·提高探针信噪比 | 第28-31页 |
| ·数字信号传输 | 第31页 |
| ·采集过程自动完成A/D转换 | 第31-32页 |
| ·积分探针系统电路设计 | 第32-33页 |
| ·程序流程图 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4. 积分Lagmuir探针诊断实验 | 第37-47页 |
| ·积分探针系统模拟诊断 | 第37-42页 |
| ·积分探针系统等离子体诊断 | 第42-46页 |
| ·实验装置 | 第42-43页 |
| ·积分探针获取的I-V特性曲线 | 第43-44页 |
| ·气体流量对等离子体参量的影响 | 第44-45页 |
| ·微波功率对等离子体参量的影响 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5. 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·总结 | 第47页 |
| ·展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 附录 | 第52-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第60页 |