CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-25页 |
| ·MEMS技术 | 第9-13页 |
| ·MEMS及其特征 | 第9-10页 |
| ·MEMS加工技术 | 第10-12页 |
| ·MEMS应用及其前景 | 第12-13页 |
| ·红外探测器概述 | 第13-23页 |
| ·红外技术 | 第13-14页 |
| ·红外探测器分类 | 第14-16页 |
| ·红外探测器的性能指标 | 第16-18页 |
| ·非制冷红外探测器的研究进展 | 第18-21页 |
| ·微机械热电堆红外探测器的研究进展 | 第21-23页 |
| ·本论文的研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器设计 | 第25-49页 |
| ·微机械红外热电堆工作原理及结构设计 | 第25-29页 |
| ·塞贝克效应 | 第25-26页 |
| ·热电堆红外探测器组成及原理 | 第26-27页 |
| ·正面腐蚀释放的热电堆结构设计 | 第27-28页 |
| ·红外吸收区开口设计 | 第28-29页 |
| ·热电堆组成材料 | 第29-32页 |
| ·热电偶材料 | 第29-30页 |
| ·介质薄膜 | 第30-32页 |
| ·热电堆性能解析分析 | 第32-44页 |
| ·热电堆性能参数 | 第32-35页 |
| ·热电堆解析结构设计 | 第35-37页 |
| ·热电堆热学解析模型 | 第37-39页 |
| ·热电堆结构与性能参数之间的关系 | 第39-44页 |
| ·优化结构的有限元模拟 | 第44-48页 |
| ·解析简化的热电堆优化结构有限元模拟 | 第44-46页 |
| ·红外吸收区开口设计结构的有限元模拟 | 第46-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第三章 微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器制作 | 第49-58页 |
| ·热电堆绝热结构释放工艺 | 第49-51页 |
| ·硅的各向异性腐蚀 | 第49-50页 |
| ·绝热结构释放 | 第50-51页 |
| ·热电堆制作 | 第51-56页 |
| ·工艺研究 | 第51-54页 |
| ·器件制作工艺流程 | 第54-56页 |
| ·流水结果 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第四章 CMOS兼容的微机械红外热电堆的性能测试 | 第58-64页 |
| ·测试系统 | 第58-59页 |
| ·测试原理 | 第59-60页 |
| ·测试结果及讨论 | 第60-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士期间发表的文章 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 个人简介 | 第72-73页 |
| 学位论文独创性声明 | 第73页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第73页 |
