| 第一章 绪论 | 第1-23页 |
| ·概述 | 第10-12页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·多孔硅是性能良好的敏感材料 | 第11页 |
| ·多孔硅的研究与应用 | 第11-12页 |
| ·多孔硅气体传感器的应用 | 第12-18页 |
| ·测量氮氧化物(NO_x)的PS气体传感器 | 第12-15页 |
| ·测量有机气体的PS气体传感器 | 第15-17页 |
| ·其他类型的PS气体传感器 | 第17-18页 |
| ·课题的意义 | 第18-19页 |
| ·多孔硅气体传感器的意义 | 第18页 |
| ·乙醇传感器的意义 | 第18-19页 |
| ·多孔硅乙醇气体传感器意义 | 第19页 |
| ·国内外发展现状 | 第19-21页 |
| ·多孔硅传感技术的发展现状 | 第19-20页 |
| ·乙醇气体传感器的发展现状 | 第20-21页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 多孔硅气敏元件的制作 | 第23-35页 |
| ·多孔硅制备工艺的研究情况 | 第23-24页 |
| ·多孔硅制备技术 | 第24-28页 |
| ·常用的多孔硅制备技术 | 第24-26页 |
| ·多孔硅的形貌结构 | 第26页 |
| ·多孔硅的形成机制 | 第26-27页 |
| ·水热腐蚀金属钝化制备多孔硅 | 第27-28页 |
| ·多孔硅气敏元件的制作 | 第28-34页 |
| ·气敏元件的结构设计 | 第28-29页 |
| ·多孔硅的制备 | 第29-31页 |
| ·水热腐蚀法制备的多孔硅形貌 | 第31-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 多孔硅乙醇气体传感器的实验研究 | 第35-49页 |
| ·概述 | 第35-38页 |
| ·气体传感器的应用 | 第35-36页 |
| ·气体传感器检测的主要方法 | 第36页 |
| ·气体传感器的性能参数 | 第36-38页 |
| ·实验设计 | 第38-39页 |
| ·实验装置的设计 | 第38-39页 |
| ·检测系统 | 第39页 |
| ·实验过程 | 第39-41页 |
| ·制作多孔硅气敏元件 | 第39页 |
| ·多孔硅乙醇气体传感器的性能测试 | 第39-41页 |
| ·气敏特性的测试结果与分析 | 第41-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第四章 多孔硅乙醇气体传感器的气敏机理及性能改善的研究 | 第49-60页 |
| ·气敏机理的研究 | 第49页 |
| ·多孔硅乙醇传感器的气敏机理 | 第49-51页 |
| ·气敏元件电阻特性分析 | 第50页 |
| ·气敏元件电容特性分析 | 第50-51页 |
| ·气敏元件的等效电路 | 第51-53页 |
| ·多孔硅乙醇气敏元件的等效电路 | 第51页 |
| ·寄生电阻和寄生电容 | 第51-53页 |
| ·改善多孔硅乙醇气体传感器性能的方法 | 第53-55页 |
| ·不同电阻率的影响 | 第53-54页 |
| ·采用合适的测试频率 | 第54页 |
| ·偏置电压的影响 | 第54-55页 |
| ·多孔硅复合膜的制作及性能研究 | 第55-59页 |
| ·多孔硅/ZnO复合膜的研制 | 第55-57页 |
| ·多孔硅/znO复合膜的性能 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 多孔硅乙醇气体传感器的应用 | 第60-65页 |
| ·背景知识 | 第60页 |
| ·机动车驾驶员血液酒精浓度标准 | 第60-61页 |
| ·道路交通部门常用的乙醇检测装置 | 第61-62页 |
| ·多孔硅乙醇传感器的特点及应用可行性 | 第62-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-68页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 后记 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |