| 摘要 | 第1-19页 |
| 图、表索引 | 第19-21页 |
| 第一章 绪论 | 第21-30页 |
| ·微机电系统概述 | 第21-22页 |
| ·微细制造技术及微细特种加工技术的发展 | 第22-25页 |
| ·微细超声加工及微细电解加工现状 | 第25-26页 |
| ·超声电解复合微细加工用于MEMS器件制造的可行性分析 | 第26-28页 |
| ·本论文课题研究的目的和任务安排 | 第28-30页 |
| 第二章 超声加工 | 第30-44页 |
| ·超声加工的基本原理和技术特点 | 第30-40页 |
| ·超声波的特性及在介质中的传播 | 第30-32页 |
| ·超声波的特性 | 第30-32页 |
| ·超声波在介质中的传播 | 第32页 |
| ·超声加工的基本原理 | 第32-33页 |
| ·超声加工的基本特点 | 第33-34页 |
| ·超声加工的基本工艺规律 | 第34-40页 |
| ·超声加工速度及其影响因素 | 第34-38页 |
| ·超声加工精度及其影响因素 | 第38-39页 |
| ·超声加工表面质量及其影响因素 | 第39页 |
| ·微细超声加工的特点 | 第39-40页 |
| ·试验基础设备简介 | 第40-42页 |
| ·T32-025 超声研磨机及其组成 | 第40页 |
| ·T32-025 超声研磨机的工作原理 | 第40-41页 |
| ·T32-025 超声研磨机的主要功能 | 第41-42页 |
| ·T32-025 超声研磨机的主要技术参数 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 电解加工 | 第44-55页 |
| ·电解加工的基本原理和特点 | 第44-46页 |
| ·电解加工基本过程 | 第44页 |
| ·电解加工成形的基本原理 | 第44-45页 |
| ·电解加工的基本特点 | 第45-46页 |
| ·电解加工中的电解液选择 | 第46-50页 |
| ·电解加工对电解液的基本要求 | 第46-47页 |
| ·常用电解液及其比较 | 第47-50页 |
| ·电解液参数对加工过程的影响 | 第50页 |
| ·电解液的流速及流向对工艺指标的影响 | 第50页 |
| ·电解加工基本设备 | 第50-51页 |
| ·实施微细电解加工的可能分析及技术实施要点 | 第51-54页 |
| ·微细电解加工的原理 | 第51-52页 |
| ·微细电解加工的特点 | 第52页 |
| ·微细电解加工的条件 | 第52-54页 |
| ·脉冲电流电解加工 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 微细超声加工基础试验 | 第55-65页 |
| ·微细超声加工的主要工艺要求 | 第55页 |
| ·硬质合金的单一微细超声加工试验 | 第55-62页 |
| ·试验条件准备 | 第56-62页 |
| ·变幅杆设计 | 第56-59页 |
| ·工具头的设计与制作 | 第59-61页 |
| ·加工参数范围的初步选择及确定 | 第61-62页 |
| ·微细超声加工的工艺技巧 | 第62-63页 |
| ·试验结果及分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 超声电解复合微细加工基础试验 | 第65-75页 |
| ·超声电解复合加工的基本原理 | 第65页 |
| ·超声电解复合微细加工的基本条件分析 | 第65-66页 |
| ·超声电解复合微细加工系统的建立 | 第66-67页 |
| ·超声电解加工系统组成 | 第66-67页 |
| ·电解液的选择 | 第67页 |
| ·电、机参数的选择及确定 | 第67页 |
| ·试验及结果分析 | 第67-69页 |
| ·Φ0.25mm阴极超声电解复合加工试验 | 第69-74页 |
| ·硬质合金YT15 超声电解微细复合加工试验 | 第70-72页 |
| ·硬质合金YG8 超声电解微细复合加工试验 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论及展望 | 第75-77页 |
| ·结论 | 第75页 |
| ·对今后研究工作的展望 | 第75-77页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-72页 |