| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1．1 引言 | 第8页 |
| 1．2 纳米复合薄膜及金属间化合物薄膜的研究现状及应用前景 | 第8-11页 |
| 1．2．1 纳米复合材料及纳米复合薄膜的研究现状及应用前景 | 第8-10页 |
| 1．2．2 金属间化合物材料及金属间化合物薄膜的应用前景 | 第10-11页 |
| 1．3 本论文的立题及研究内容 | 第11-13页 |
| 本章参考文献 | 第13-18页 |
| 第二章 脉冲激光沉积技术 | 第18-34页 |
| 2．1 引言 | 第18-19页 |
| 2．2 脉冲激光沉积技术的基本原理 | 第19-23页 |
| 2．3 影响脉冲激光沉积技术制膜的几种因素 | 第23-25页 |
| 2．4 脉冲激光沉积技术的特点和优势 | 第25-28页 |
| 2．5 脉冲激光沉积技术的研究动态与进展 | 第28-30页 |
| 2．6 小结 | 第30-31页 |
| 本章参考文献 | 第31-34页 |
| 第三章 Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的脉冲激光沉积法制备 | 第34-52页 |
| 3．1 引言 | 第34页 |
| 3．2 单个周期结构的Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的制备研究 | 第34-46页 |
| 3．2．1 实验装置及设计 | 第34-36页 |
| 3．2．2 实验靶材的制备 | 第36-37页 |
| 3．2．3 样品的制备 | 第37-38页 |
| 3．2．4 样品的测试方法 | 第38-40页 |
| 3．2．5 实验结果与分析 | 第40-46页 |
| 3．2．5．1 Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的AFM分析 | 第40-42页 |
| 3．2．5．2 Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的XRD分析 | 第42-43页 |
| 3．2．5．3 Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的TEM分析 | 第43-46页 |
| 3．3 多个周期结构的Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的制备研究 | 第46-49页 |
| 3．3．1 样品的制备 | 第46页 |
| 3．3．2 实验结果与分析 | 第46-49页 |
| 3．3．2．1 Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的AFM分析 | 第46-47页 |
| 3．3．2．2 Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的XRD分析 | 第47-49页 |
| 3．4 结论 | 第49-50页 |
| 本章参考文献 | 第50-52页 |
| 第四章 Fe-Al金属间化合物薄膜的制备实验研究 | 第52-64页 |
| 4．1 引言 | 第52-53页 |
| 4．2 硅(100)基片上 Fe-Al金属间化合物薄膜的制备 | 第53-55页 |
| 4．2．1 基片的清洗 | 第53页 |
| 4．2．2 样品的制备 | 第53-54页 |
| 4．2．3 样品的测试方法 | 第54-55页 |
| 4．3 实验结果及分析 | 第55-61页 |
| 4．3．1 基底温度对薄膜表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| 4．3．2 薄膜表面成分与氧化状态分析 | 第57-60页 |
| 4．3．3 薄膜成分的面分布分析 | 第60-61页 |
| 4．4 结论 | 第61-62页 |
| 本章参考文献 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5．1 本论文工作的主要内容与结论 | 第64-65页 |
| 5．2 本论文工作的创新之处 | 第65页 |
| 5．3 对未来工作的展望 | 第65-66页 |
| 硕士期间参加的课题及论文发表情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
