MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·MEMS加速度计概述及分类 | 第10-11页 |
| ·MEMS加速度计的基本工作原理 | 第11-14页 |
| ·MEMS加速度计结构模型 | 第12-13页 |
| ·MEMS加速度计动力学模型 | 第13-14页 |
| ·MEMS加速度计的发展现状 | 第14-20页 |
| ·MEMS加速度计发展现状 | 第14-17页 |
| ·存在的问题 | 第17-20页 |
| ·论文的主要工作 | 第20-22页 |
| 2 MEMS加速度计温度场模型建立与优化 | 第22-44页 |
| ·芯片热阻模型 | 第22-23页 |
| ·器件外围电路温度场模型 | 第23-39页 |
| ·建模及仿真结果 | 第23-29页 |
| ·实验验证 | 第29-33页 |
| ·优化布局 | 第33-37页 |
| ·设计辅助散热器 | 第37-39页 |
| ·温控系统温度场模型 | 第39-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 3 MEMS加速度计残余应力模型的建立 | 第44-62页 |
| ·残余应力简介 | 第44-46页 |
| ·键合残余应力研究 | 第46-55页 |
| ·MEMS加速度计工艺流程 | 第46-48页 |
| ·阳极键合简介 | 第48-50页 |
| ·仿真验证 | 第50-55页 |
| ·热应力随温度变化规律 | 第55-56页 |
| ·结构调整对热应力的影响 | 第56-57页 |
| ·质量块厚度对热应力的影响 | 第56页 |
| ·玻璃厚度对热应力的影响 | 第56-57页 |
| ·热应力对加速度计性能的影响 | 第57-59页 |
| ·实验测试 | 第59-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 4 MEMS加速度计结构误差分析 | 第62-70页 |
| ·加速度计梁宽不对称 | 第62-64页 |
| ·加速度计弹性梁过刻蚀 | 第64-65页 |
| ·加速度计质量块偏心 | 第65-68页 |
| ·工艺改良建议 | 第68页 |
| ·小结 | 第68-70页 |
| 5 总结与展望 | 第70-73页 |
| ·主要工作总结 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间所取得的科研成果和荣誉 | 第78页 |
