机械与氧化化学法抛光金刚石膜研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| CONTENTS | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| 1．1 本课题的研究意义 | 第11-12页 |
| 1．2 国内外研究现状 | 第12-23页 |
| 1．2．1 金刚石与金刚石膜的性质 | 第12-14页 |
| 1．2．2 CVD金刚石膜的抛光技术 | 第14-20页 |
| 1．2．3 电火花抛光金刚石膜 | 第20-21页 |
| 1．2．4 各种抛光方法比较 | 第21-22页 |
| 1．2．5 单晶金刚石抛光方法 | 第22-23页 |
| 1．3 本课题的来源与主要研究内容 | 第23页 |
| 1．3．1 课题的来源 | 第23页 |
| 1．3．2 课题研究的主要内容 | 第23页 |
| 1．3．3 课题研究的主要目标 | 第23页 |
| 1．4 研究工作总体思路 | 第23-26页 |
| 第二章 石墨电极电火花抛光金刚石膜研究 | 第26-36页 |
| 2．1 石墨电极电火花抛光实验 | 第26-29页 |
| 2．1．1 实验装置 | 第26-27页 |
| 2．1．2 实验材料 | 第27-28页 |
| 2．1．3 抛光工艺 | 第28-29页 |
| 2．2 石墨电极电火花抛光效果分析 | 第29页 |
| 2．3 石墨电极电火花抛光金刚石膜机理分析 | 第29-34页 |
| 2．3．1 金刚石膜的气化 | 第29-30页 |
| 2．3．2 金刚石膜的微裂纹 | 第30-31页 |
| 2．3．3 金刚石膜的断裂 | 第31-32页 |
| 2．3．4 金刚石膜的氧化和石墨化 | 第32-33页 |
| 2．3．5 与铜电极抛光机理的比较 | 第33-34页 |
| 2．4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 机械法抛光加工金刚石膜研究 | 第36-54页 |
| 3．1 实验 | 第36-39页 |
| 3．1．1 实验条件 | 第36-38页 |
| 3．1．2 单因素实验 | 第38-39页 |
| 3．1．3 正交实验 | 第39页 |
| 3．2 金刚石抛光盘抛光金刚石膜的分析 | 第39-52页 |
| 3．2．1 单因素实验结果 | 第39-40页 |
| 3．2．2 金刚石膜表面形貌分析 | 第40-43页 |
| 3．2．3 金刚石膜加工表面激光拉曼光谱分析 | 第43-44页 |
| 3．2．4 金刚石膜金刚石抛光盘机械法抛光机理 | 第44-45页 |
| 3．2．5 影响金刚石抛光盘抛光效果的主要因素 | 第45-48页 |
| 3．2．6 金刚石抛光盘抛光最佳工艺 | 第48-52页 |
| 3．3 游离磨料精抛光金刚石膜 | 第52-53页 |
| 3．4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 氧化化学法抛光金刚石膜研究 | 第54-70页 |
| 4．1 实验 | 第54-57页 |
| 4．1．1 实验设备 | 第54-55页 |
| 4．1．2 金刚石膜材料 | 第55页 |
| 4．1．3 实验仪器 | 第55页 |
| 4．1．4 氧化剂的选择 | 第55-56页 |
| 4．1．5 金刚石膜的固定 | 第56-57页 |
| 4．1．6 抛光盘的选择 | 第57页 |
| 4．1．7 加热方式的选择 | 第57页 |
| 4．2 氧化化学法抛光金刚石膜 | 第57-69页 |
| 4．2．1 影响抛光效和表面形貌的主要因素 | 第57-63页 |
| 4．2．2 表面形貌分析 | 第63-66页 |
| 4．2．3 激光拉曼光谱分析 | 第66-67页 |
| 4．2．4 氧化化学法抛光金刚石膜机理 | 第67-69页 |
| 4．3 本章小结 | 第69-70页 |
| 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
