| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·小尺度材料简介 | 第11-12页 |
| ·小尺度材料力学性能的主要实验方法 | 第12-19页 |
| ·单轴拉伸方法 | 第12-14页 |
| ·薄膜弯曲实验 | 第14-18页 |
| ·金属薄膜的疲劳实验方法介绍 | 第18-19页 |
| ·MEMS材料拉伸实验的进展 | 第19-21页 |
| ·本研究的目的和内容 | 第21-23页 |
| 第2章 微力实验系统的设计 | 第23-33页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·实验装置的设计 | 第23-26页 |
| ·驱动装置的选择 | 第23-25页 |
| ·驱动装置工作原理 | 第25-26页 |
| ·实验装置的结构和功能 | 第26-31页 |
| ·实验装置的结构 | 第26-27页 |
| ·原位观察的实现方式 | 第27-29页 |
| ·实验与载荷的同轴对中 | 第29页 |
| ·多功能夹具的应用 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 采用微力实验系统进行小尺度材料力学性能测试实验方法 | 第33-43页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·铜丝的单轴拉伸实验 | 第33-36页 |
| ·样品制备 | 第33-36页 |
| ·实验方法 | 第36页 |
| ·单晶Cu箔的拉-拉循环疲劳实验 | 第36-38页 |
| ·样品制备 | 第36-37页 |
| ·实验方法 | 第37-38页 |
| ·砷化镓薄膜的三点弯曲实验 | 第38-41页 |
| ·样品制备 | 第38-39页 |
| ·实验方法 | 第39-41页 |
| ·力学性能测试样品的SEM表征原理 | 第41-43页 |
| 第4章 几种小尺度材料的力学性能测试 | 第43-56页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·Cu丝单轴拉伸实验 | 第44-49页 |
| ·实验结果 | 第44-46页 |
| ·断裂试样的SEM观察 | 第46-48页 |
| ·分析讨论 | 第48-49页 |
| ·单晶Cu箔的拉-拉循环疲劳实验 | 第49-52页 |
| ·实验结果与讨论 | 第49-52页 |
| ·砷化镓薄膜的三点弯曲实验 | 第52-54页 |
| ·实验结果 | 第52-54页 |
| ·分析讨论 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62页 |