| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-35页 |
| ·纳米科学与技术 | 第12-19页 |
| ·纳米科学与技术概述 | 第12-13页 |
| ·各国政府对纳米科学与技术的重视 | 第13-14页 |
| ·纳米科学与技术研究现状 | 第14-19页 |
| ·微机电与纳机电系统概述 | 第19-22页 |
| ·微机电系统概述 | 第19-21页 |
| ·纳机电系统概述 | 第21-22页 |
| ·纳机电谐振器研究现状 | 第22-32页 |
| ·纳机电谐振器加工技术 | 第22-29页 |
| ·纳机电谐振器检测方法 | 第29-32页 |
| ·论文主要研究内容及意义 | 第32-35页 |
| 第二章 场效应管检测方法 | 第35-53页 |
| ·场效应管检测机理 | 第35-40页 |
| ·纳机电谐振器工艺制作 | 第40-45页 |
| ·工艺流程 | 第40-41页 |
| ·光刻工艺研究 | 第41-42页 |
| ·制作结果 | 第42-43页 |
| ·机械性能测试 | 第43-45页 |
| ·电学性能测试 | 第45-49页 |
| ·释放前电学性能测试 | 第45-46页 |
| ·释放后电学性能测试及表面效应 | 第46-48页 |
| ·等离子体处理后电学性能测试 | 第48-49页 |
| ·寄生效应的消除 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第三章 基于纳米线的谐振器制作 | 第53-70页 |
| ·基于BOE溶液选择性腐蚀PN结N型区域现象的谐振器制作 | 第53-59页 |
| ·含HF酸溶液选择性腐蚀PN结N型区域现象实验研究 | 第54-57页 |
| ·含HF酸溶液选择性腐蚀PN结N型区域的电化学机理 | 第57-59页 |
| ·基于TMAH各向异性腐蚀的谐振器制作 | 第59-69页 |
| ·TMAH各向异性腐蚀 | 第59-62页 |
| ·纳机电谐振器制作 | 第62-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第四章 微/纳机电谐振器噪声及机械辐射损伤特性分析 | 第70-86页 |
| ·微/纳机电谐振器噪声特性 | 第70-74页 |
| ·微/纳机电谐振器机械辐射损伤特性分析 | 第74-85页 |
| ·机械辐射损伤机理 | 第74-78页 |
| ·辐射实验 | 第78-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 总结 | 第86-89页 |
| ·本文主要结论 | 第86-87页 |
| ·今后工作展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 作者简历 | 第95-96页 |
