| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景 | 第7-8页 |
| ·阵列光波导器件封装系统研究现状 | 第8-10页 |
| ·阵列光波导器件封装过程简介 | 第8页 |
| ·阵列光波导器件封装系统的国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·多轴精密运动平台误差建模及敏感误差分析的研究现状 | 第10页 |
| ·综合空间误差建模及敏感误差仿真分析的研究意义 | 第10-11页 |
| ·论文选题及论文的内容安排 | 第11-13页 |
| ·论文选题与课题来源 | 第11页 |
| ·论文内容安排 | 第11-13页 |
| 第二章 多体系统误差建模分析方法与理论 | 第13-25页 |
| ·多体系统描述的基本方法 | 第13-15页 |
| ·多体系统拓扑结构及其低序体阵列描述 | 第13-14页 |
| ·典型体的几何描述 | 第14-15页 |
| ·坐标系及点和矢量的表示 | 第15页 |
| ·多体系统的坐标系 | 第15页 |
| ·点和矢量的齐次坐标表示 | 第15页 |
| ·理想运动的变换矩阵 | 第15-18页 |
| ·平移运动特征矩阵 | 第15-16页 |
| ·旋转运动特征矩阵 | 第16-18页 |
| ·理想合成运动特征矩阵 | 第18页 |
| ·实际运动的变换矩阵 | 第18-23页 |
| ·多体系统运动学方程 | 第23-24页 |
| ·理想条件下的零级运动方程 | 第23-24页 |
| ·实际条件下的零级运动方程 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 误差源及单元误差分析 | 第25-31页 |
| ·四轴运动平台功能及结构介绍 | 第25-26页 |
| ·运动平台整体功能 | 第25页 |
| ·运动平台结构介绍 | 第25-26页 |
| ·四轴运动平台的约束与自由度分析 | 第26-27页 |
| ·运动平台的约束 | 第26页 |
| ·运动平台各单元自由度分析 | 第26-27页 |
| ·误差源及单元误差分析 | 第27-29页 |
| ·误差源分析 | 第27页 |
| ·单元误差分析 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 综合空间误差建模及仿真与分析 | 第31-69页 |
| ·拓扑结构、低序体阵列描述 | 第31页 |
| ·运动平台坐标系设置 | 第31-32页 |
| ·齐次特征转换矩阵 | 第32-33页 |
| ·静止位姿和运动轨迹函数 | 第33-36页 |
| ·综合空间误差模型 | 第36-39页 |
| ·综合空间误差模型仿真及分析 | 第39-68页 |
| ·静止状态综合空间误差仿真结果分析 | 第39-58页 |
| ·运动状态综合空间误差仿真结果分析 | 第58-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 各运动轴单元误差测量实验与分析 | 第69-76页 |
| ·定位精度定义及测量方法 | 第69-72页 |
| ·定位精度的定义及测量方法 | 第69-71页 |
| ·重要的技术指标 | 第71-72页 |
| ·倾斜及偏摆误差定义与测量方法 | 第72-73页 |
| ·实验测量结果 | 第73-75页 |
| ·Z轴单元误差测量结果及分析 | 第73-74页 |
| ·X轴单元误差测量结果及分析 | 第74-75页 |
| ·Y轴单元误差测量结果及分析 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 全文总结与工作展望 | 第76-78页 |
| ·全文总结 | 第76-77页 |
| ·工作展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第83页 |