激光在线检测晶圆表面质量的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-16页 |
| ·本文的目的与意义 | 第12-13页 |
| ·表面粗糙度的基本概念 | 第13-14页 |
| ·表面几何形状偏差的分类 | 第13-14页 |
| ·表面粗糙度的定义 | 第14页 |
| ·本文的研究思路与内容安排 | 第14-16页 |
| 2 表面粗糙度评价参数及其测量方法 | 第16-30页 |
| ·表面粗糙度评定参数 | 第16-21页 |
| ·轮廓算术平均差Ra | 第16-17页 |
| ·轮廓均方根偏差Rq | 第17页 |
| ·轮廓微观不平度十点高度Rz | 第17-18页 |
| ·轮廓最大高度Ry | 第18-19页 |
| ·轮廓微观不平度的平均间距Sm | 第19页 |
| ·轮廓的单峰平均间距S | 第19-20页 |
| ·轮廓支承长度率tp | 第20-21页 |
| ·表面粗糙度的测量方法 | 第21-30页 |
| ·比较法 | 第22页 |
| ·印模法 | 第22页 |
| ·触针法 | 第22-23页 |
| ·光散射法 | 第23-26页 |
| ·像散法 | 第26页 |
| ·散斑法 | 第26-27页 |
| ·光干涉法 | 第27页 |
| ·光学触针法 | 第27-28页 |
| ·电镜法 | 第28-30页 |
| 3 基于光散射原理在线测量晶圆表面质量的方法 | 第30-45页 |
| ·测量原理 | 第30-32页 |
| ·实验系统的设计 | 第32-34页 |
| ·实验过程的数据处理 | 第34-41页 |
| ·图像预处理 | 第34-36页 |
| ·寻找长轴方向 | 第36-37页 |
| ·图像旋转 | 第37-41页 |
| ·参数的计算 | 第41页 |
| ·实验结果与讨论 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 基于支持向量机在线测量晶圆表面质量的方法 | 第45-64页 |
| ·支持向量机概述 | 第45-53页 |
| ·支持向量机的基本思想 | 第45-47页 |
| ·支持向量机的基础算法 | 第47-53页 |
| ·支持向量机的研究现状 | 第53-58页 |
| ·新型支持向量机算法研究 | 第53-55页 |
| ·支持向量机训练算法研究 | 第55-56页 |
| ·支持向量机模型及参数选择研究 | 第56-57页 |
| ·多模式分类方法的研究 | 第57-58页 |
| ·基于支持向量机测量晶圆表面粗糙度的一般方法 | 第58-63页 |
| ·分类与回归 | 第58-59页 |
| ·参数的选择 | 第59-61页 |
| ·参数的规格化 | 第61页 |
| ·核函数的选择 | 第61-62页 |
| ·交叉验证和网格搜索 | 第62页 |
| ·SVM 粗糙度等级分类实验结果 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 附录 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第75页 |
