| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·钡铁氧体薄膜(BaM)研究进展 | 第9-14页 |
| ·钡磁铅石型六角铁氧体材料的结构 | 第9-11页 |
| ·BaM 薄膜的几种主要制备方法和研究现状 | 第11-14页 |
| ·存在的问题和发展趋势 | 第14页 |
| ·本文的研究内容和方法 | 第14-15页 |
| 第二章 钡铁氧体薄膜的制备及性能研究 | 第15-42页 |
| ·钡铁氧体靶材的制备 | 第15-19页 |
| ·实验设备及原料 | 第15-16页 |
| ·靶材的制备工艺 | 第16-19页 |
| ·钡铁氧体薄膜的制备 | 第19-42页 |
| ·磁控溅射原理 | 第19-21页 |
| ·实验方法 | 第21-24页 |
| ·薄膜的沉积速率以及影响因素 | 第24-29页 |
| ·薄膜成分的分析 | 第29-30页 |
| ·基底温度对薄膜性能的影响 | 第30-33页 |
| ·氧分压的影响 | 第33-37页 |
| ·溅射功率对薄膜性能以及形貌的影响 | 第37-42页 |
| 第三章 钡铁氧体多层膜的制备及性能研究 | 第42-53页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·(Al/BaM)_n多层膜的制备 | 第42-44页 |
| ·(MgO/BaM)_n多层膜的制备 | 第44-46页 |
| ·(BaFe_(12)O_(19)/ BaFe_(12)O_(19))_n多层膜的制备 | 第46-49页 |
| ·退火时间对自缓冲层多层膜的影响 | 第49-53页 |
| 第四章 结论与展望 | 第53-55页 |
| ·结论 | 第53-54页 |
| ·论文工作展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第59-60页 |