空间隔离原子层沉积系统的温度特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 原子层沉积技术介绍 | 第9-10页 |
| 1.2 原子层沉积反应的分类 | 第10-12页 |
| 1.3 原子层沉积反应的温度窗口 | 第12-13页 |
| 1.4 原子层沉积设备的加热方式 | 第13-18页 |
| 1.5 课题研究意义及本文主要内容 | 第18-20页 |
| 2 接触加热SALD设备的温度特性研究 | 第20-36页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 热量传递的基本形式 | 第20-21页 |
| 2.3 接触加热式SALD设备介绍 | 第21-24页 |
| 2.4 接触加热式SALD设备传热分析 | 第24-25页 |
| 2.5 接触加热式SALD设备的温度特性 | 第25-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 SALD设备可控变温系统的设计与研究 | 第36-46页 |
| 3.1 可控变温系统的需求介绍 | 第36-37页 |
| 3.2 可控变温系统的设计 | 第37-38页 |
| 3.3 可控变温系统的设计改进 | 第38-40页 |
| 3.4 不同工艺参数对可控降温的影响 | 第40-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 大面积基底转移装置的设计与温度特性研究 | 第46-62页 |
| 4.1 引言 | 第46-47页 |
| 4.2 大面积基底转移装置的设计 | 第47-55页 |
| 4.3 大面积基底的转移过程 | 第55-57页 |
| 4.4 转移装置预热区的温度特性 | 第57-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的专利 | 第70页 |
