| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-32页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 超表面基本概念 | 第12-15页 |
| 1.2.1 超表面的色散关系 | 第12-14页 |
| 1.2.2 超表面的分类以及激发方式 | 第14-15页 |
| 1.3 超表面吸收器的基本原理 | 第15-18页 |
| 1.3.1 阻抗匹配 | 第16-17页 |
| 1.3.2 干涉理论 | 第17-18页 |
| 1.4 基于表面等离激元器件的进展 | 第18-20页 |
| 1.5 用于非制冷红外探测器的高吸收结构研究进展 | 第20-26页 |
| 1.5.1 传统的红外吸收材料 | 第20-21页 |
| 1.5.2 红外超材料吸收器 | 第21-23页 |
| 1.5.3 宽带超表面吸收器 | 第23-26页 |
| 1.6 时域有限差分法 | 第26-29页 |
| 1.6.1 Maxwell方程组的离散化 | 第26-29页 |
| 1.6.2 时域有限差分法的计算稳定性 | 第29页 |
| 1.7 本文的主要工作以及结构安排 | 第29-32页 |
| 第2章 基于谐振腔模式的宽带长波红外超表面吸收器 | 第32-45页 |
| 2.1 基于MIM结构的完美吸波体 | 第32-34页 |
| 2.2 基于谐振腔模式的单层宽带吸收器 | 第34-40页 |
| 2.2.1 宽带吸收器的吸收原理和结构说明 | 第34-35页 |
| 2.2.2 宽带吸收器的仿真结果 | 第35-40页 |
| 2.3 基于谐振腔模式的双层宽带吸收器 | 第40-41页 |
| 2.4 基于谐振腔模式的紧凑型宽带吸收器 | 第41-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 基于混合谐振模式的宽带长波红外超表面吸收器 | 第45-59页 |
| 3.1 金属-介质镶嵌结构的原理 | 第45-47页 |
| 3.1.1 MIM结构的Fabry-Perot模型 | 第45-46页 |
| 3.1.2 镶嵌的MIM结构的模式匹配 | 第46-47页 |
| 3.2 基于MIM结构的宽带长波红外超表面吸收器 | 第47-51页 |
| 3.2.1 MIM宽带吸收器的结构 | 第47-48页 |
| 3.2.2 MIM宽带吸收器的吸收机理 | 第48-50页 |
| 3.2.3 结构参数对吸收器吸收性能的影响 | 第50-51页 |
| 3.3 基于金属-介质镶嵌结构的宽带长波红外超表面吸收器 | 第51-58页 |
| 3.3.1 镶嵌MIM宽带吸收器的结构 | 第51-53页 |
| 3.3.2 镶嵌型MIM宽带吸收器的吸收机理 | 第53-54页 |
| 3.3.3 结构参数对吸收器吸收性能的影响 | 第54-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 非制冷红外探测器设计及微桥工艺制备 | 第59-69页 |
| 4.1 集成超表面吸收的非制冷红外探测器结构及工艺参数设计 | 第59-60页 |
| 4.2 集成超表面吸收的非制冷红外探测器图形单元设计 | 第60-61页 |
| 4.3 集成超表面吸收的非制冷红外探测器工艺设计 | 第61-62页 |
| 4.4 集成超表面吸收的非制冷红外探测器工艺制备 | 第62-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 全文总结 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第77-78页 |
| 指导教师及作者简介 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
