| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第16-17页 |
| 1.2 压电促动器建模与控制的研究现状 | 第17-24页 |
| 1.2.1 叠堆式压电促动器 | 第17-21页 |
| 1.2.2 行走式压电促动器 | 第21-24页 |
| 1.3 压电促动器在光刻物镜中的应用现状 | 第24-28页 |
| 1.3.1 像差补偿与调节机构中的应用 | 第24-26页 |
| 1.3.2 波像差检测与主动隔振中的应用 | 第26-28页 |
| 1.4 本文工作与论文组织 | 第28-30页 |
| 1.4.1 研究对象 | 第28页 |
| 1.4.2 论文工作主要内容 | 第28-29页 |
| 1.4.3 论文的结构安排 | 第29-30页 |
| 第2章 纳米级精度位移测量传感器的工作原理与噪声测试 | 第30-44页 |
| 2.1 引言 | 第30页 |
| 2.2 电容传感器的工作原理与噪声测试 | 第30-32页 |
| 2.2.1 电容传感器的工作原理 | 第30-32页 |
| 2.2.2 电容传感器的噪声测试 | 第32页 |
| 2.3 光栅尺的工作原理与噪声测试 | 第32-37页 |
| 2.3.1 光栅尺的工作原理 | 第32-37页 |
| 2.3.2 光栅尺的噪声测试 | 第37页 |
| 2.4 激光测长干涉仪的工作原理与噪声测试 | 第37-42页 |
| 2.4.1 激光测长干涉仪的工作原理 | 第37-40页 |
| 2.4.2 激光测长干涉仪的噪声测试 | 第40-42页 |
| 2.5 纳米级精度位移测量传感器的对比分析 | 第42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 叠堆式压电促动器的建模与控制研究 | 第44-92页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 叠堆式压电促动器的迟滞特性分析及模糊迟滞模型 | 第44-64页 |
| 3.2.1 压电铁电物理特性 | 第44-47页 |
| 3.2.2 迟滞特性与Prandtl-Ishlinskii模型 | 第47-49页 |
| 3.2.3 模糊迟滞模型的结构与辨识 | 第49-56页 |
| 3.2.4 模糊迟滞模型的建模性能 | 第56-64页 |
| 3.3 叠堆式压电促动器正弦轨迹跟踪的自适应模糊控制 | 第64-74页 |
| 3.3.1 自适应模糊控制器设计 | 第64-68页 |
| 3.3.2 正弦轨迹跟踪控制实验 | 第68-74页 |
| 3.4 叠堆式压电促动器驱动的移相器系统设计与分析 | 第74-80页 |
| 3.4.1 叠堆式压电促动器选型 | 第74-75页 |
| 3.4.2 柔性机构设计与分析 | 第75-78页 |
| 3.4.3 移相器设计与分析 | 第78-80页 |
| 3.5 叠堆式压电促动器驱动的移相器系统半闭环控制 | 第80-90页 |
| 3.5.1 半闭环控制器设计 | 第80-82页 |
| 3.5.2 半闭环控制实验配置 | 第82-85页 |
| 3.5.3 半闭环控制实验 | 第85-90页 |
| 3.6 本章小结 | 第90-92页 |
| 第4章 行走式压电促动器的建模与控制研究 | 第92-116页 |
| 4.1 引言 | 第92页 |
| 4.2 行走式压电促动器的准静态特性分析 | 第92-99页 |
| 4.2.1 行走式压电促动器的工作原理 | 第92-94页 |
| 4.2.2 行走式压电促动器位移与电压关系的准静态分析 | 第94-96页 |
| 4.2.3 行走式压电促动器运动步长与驱动电压波形的关系 | 第96-98页 |
| 4.2.4 行走式压电促动器运动步长与外部负载的关系 | 第98-99页 |
| 4.3 行走式压电促动器的系统建模与辨识 | 第99-106页 |
| 4.3.1 行走式压电促动器的动态系统建模 | 第99-102页 |
| 4.3.2 行走式压电促动器系统的实验配置 | 第102-103页 |
| 4.3.3 行走式压电促动器的系统辨识 | 第103-106页 |
| 4.4 行走式压电促动器的定位控制 | 第106-110页 |
| 4.4.1 行走式压电促动器的定位控制器设计 | 第107-109页 |
| 4.4.2 行走式压电促动器的定位控制实验 | 第109-110页 |
| 4.5 行走式压电促动器轨迹跟踪的重复学习控制 | 第110-114页 |
| 4.5.1 行走式压电促动器的重复学习控制器设计 | 第110-113页 |
| 4.5.2 行走式压电促动器的重复学习控制实验 | 第113-114页 |
| 4.6 本章小结 | 第114-116页 |
| 第5章 压电促动器在光刻物镜像差补偿与调节机构中的应用研究 | 第116-136页 |
| 5.1 引言 | 第116页 |
| 5.2 光刻物镜的像差与调节机构 | 第116-120页 |
| 5.2.1 光刻物镜的像差 | 第116-119页 |
| 5.2.2 光刻物镜中的调节机构 | 第119-120页 |
| 5.3 压电促动器在光刻物镜像差补偿轴向调节机构中的应用研究 | 第120-125页 |
| 5.3.1 像差补偿轴向调节机构的功能性快速调节 | 第120-123页 |
| 5.3.2 像差补偿轴向调节机构调节引起的光学元件面形变化 | 第123-125页 |
| 5.4 压电促动器在光刻物镜六自由度调节机构中的应用研究 | 第125-134页 |
| 5.4.1 六自由度调节机构 | 第125-128页 |
| 5.4.2 调节行程与耦合误差 | 第128-130页 |
| 5.4.3 调节误差与分辨率 | 第130-132页 |
| 5.4.4 六自由度调节机构调节引起的光学元件面形变化 | 第132-134页 |
| 5.5 本章小结 | 第134-136页 |
| 第6章 结论与展望 | 第136-140页 |
| 6.1 工作总结 | 第136-137页 |
| 6.2 主要创新点 | 第137-138页 |
| 6.3 研究展望 | 第138-140页 |
| 参考文献 | 第140-156页 |
| 致谢 | 第156-158页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第158-159页 |
