中心供液小磨头抛光去除函数理论模型和实验研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 字母注释表 | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第12-14页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 课题研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 小磨头抛光技术 | 第14-16页 |
| 1.3 抛光去除函数建模研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 中心供液小磨头抛光去除函数对比实验 | 第20-30页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 实验条件 | 第20-23页 |
| 2.2.1 样件及测量设备简介 | 第20-21页 |
| 2.2.2 中心供液装置简介 | 第21-22页 |
| 2.2.3 六自由度混联机器人数控抛光系统 | 第22-23页 |
| 2.3 抛光垫磨损对比实验 | 第23-26页 |
| 2.4 去除函数轮廓对比实验 | 第26-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 抛光垫表面形貌模型的建立与分析 | 第30-36页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 抛光垫表面形貌的建模与分析 | 第30-34页 |
| 3.2.1 聚氨酯抛光垫表面形貌分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 建模关键要素分析 | 第31-32页 |
| 3.2.3 抛光垫表面模型的建立 | 第32-34页 |
| 3.3 模拟结果与讨论 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 去除函数模型的建立与分析 | 第36-49页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 去除函数建模与分析 | 第36-45页 |
| 4.2.1 抛光垫与工件微观接触分析 | 第36-38页 |
| 4.2.2 抛光垫微观形貌接触变形分析 | 第38-41页 |
| 4.2.3 材料去除机理 | 第41-42页 |
| 4.2.4 去除函数模型的建立 | 第42-45页 |
| 4.3 仿真结果与讨论 | 第45-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 去除函数行星运动优化 | 第49-59页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 行星运动模型分析 | 第49-53页 |
| 5.2.1 小磨头行星运动模型 | 第49-50页 |
| 5.2.2 磨粒相对滑动速度分析 | 第50-53页 |
| 5.3 行星去除函数与优化 | 第53-58页 |
| 5.3.1 去除函数评价标准 | 第53-54页 |
| 5.3.2 仿真正交实验 | 第54-56页 |
| 5.3.3 结果分析 | 第56-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 全文总结与主要结论 | 第59页 |
| 6.2 研究展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
