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双H桥中频磁控溅射电源研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第1章 绪论第10-14页
   ·开关电源的发展第10-11页
   ·国内外研究现状第11-12页
   ·课题意义第12页
   ·课题存在的难点第12页
   ·论文的结构和主要内容第12-14页
第2章 主电路的设计原理第14-30页
   ·系统总框图结构第14-15页
   ·开关器件IGBT介绍第15-23页
     ·IGBT的结构和特点第15-16页
     ·IGBT的基本特性第16-20页
     ·IGBT的保护措施第20页
     ·IGBT的触发方式第20-23页
   ·系统逆变部分原理第23-30页
     ·第一次逆变第23-27页
     ·双H桥逆变第27-30页
第3章 控制电路设计策略第30-54页
   ·PWM控制技术第30-31页
     ·PWM控制的基本原理第30-31页
     ·PWM控制技术的分类第31页
   ·软开关技术第31-38页
     ·软开关的基本原理第31-32页
     ·软开关技术发展历程第32-34页
     ·所用的软开关电路介绍第34-38页
   ·第一次逆变的控制电路设计第38-45页
     ·脉宽调制控制器SG2525功能方框图与主要电气特性第38-42页
     ·第一次逆变控制电路的设计第42-43页
     ·第一次逆变的驱动电路第43-45页
   ·双H桥逆变的控制电路设计第45-54页
     ·UC3875的电气参数第45-50页
     ·UC3875构成的控制电路部分第50-52页
     ·双H桥驱动电路的设计第52-54页
第4章 保护电路设计第54-62页
   ·过电流和过电压保护电路第54-55页
   ·灭弧电路第55-57页
   ·过载保护电路第57-58页
   ·软启动电路第58页
   ·双靶转换电路第58-62页
第5章 试验结果和课题结论第62-66页
   ·实验结果第62-64页
   ·课题结论第64-66页
参考文献第66-70页
致谢第70-71页

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