| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 半导体气敏传感器 | 第12-16页 |
| 1.2.1 气敏传感器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 半导体类气敏传感器 | 第13-15页 |
| 1.2.3 常见的半导体气敏传感器 | 第15-16页 |
| 1.3 Fe_20_3基气敏传感器 | 第16-21页 |
| 1.3.1 氧化铁晶体的基本性质 | 第16-18页 |
| 1.3.2 氧化铁气敏材料的制备 | 第18-20页 |
| 1.3.3 α-Fe_20_3基气敏材料研究进展 | 第20-21页 |
| 1.4 金属半导体气敏原理概述 | 第21-23页 |
| 1.5 选题目的及意义 | 第23-25页 |
| 1.5.1 本文的目的及意义 | 第23页 |
| 1.5.2 本文的主要工作及创新点 | 第23-25页 |
| 第二章 实验和研究方法 | 第25-33页 |
| 2.1 主要试剂、仪器 | 第25-26页 |
| 2.1.1 实验主要原材料 | 第25页 |
| 2.1.2 实验仪器设备 | 第25-26页 |
| 2.2 样品物理性能的表征 | 第26-28页 |
| 2.2.1 SEM表征 | 第26-27页 |
| 2.2.2 X射线衍射（XRD） | 第27页 |
| 2.2.3 Hall效应测试 | 第27-28页 |
| 2.3 实验过程 | 第28-33页 |
| 2.3.1 试验流程 | 第28页 |
| 2.3.2 Fe_20_3纳米管薄膜的制备 | 第28-29页 |
| 2.3.3 气敏元件的制备 | 第29-30页 |
| 2.3.4 气敏元件的测试系统 | 第30-33页 |
| 2.3.4.1 气室设计 | 第30-31页 |
| 2.3.4.2 检测系统 | 第31页 |
| 2.3.4.3 测试电路 | 第31-33页 |
| 第三章 氧化铁纳米管的制备与研究 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33-34页 |
| 3.2 Fe_20_3纳米管的制备与表征 | 第34-35页 |
| 3.2.1 实验仪器及试剂 | 第34页 |
| 3.2.2 ZnO种子层的制备 | 第34页 |
| 3.2.3 ZnO纳米棒模板的制备 | 第34页 |
| 3.2.4 Fe_20_3纳米管薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 3.2.5 表征设备 | 第35页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第35-45页 |
| 3.3.1 Fe(OH)3纳米管生长过程及原理分析 | 第35-41页 |
| 3.3.2 前驱液种类对纳米管形貌的影响 | 第41-44页 |
| 3.3.3 氯化铁浓度对纳米管形貌的影响 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 Fe_20_3纳米管的气敏特性研究 | 第46-60页 |
| 4.1 气敏传感器的主要性能参数 | 第46-47页 |
| 4.2 氧化铁纳米管薄膜气敏类型及机理 | 第47-52页 |
| 4.2.1 氧化铁纳米管薄膜气敏类型 | 第47-48页 |
| 4.2.2 p型氧化铁纳米管薄膜的形成机理 | 第48-52页 |
| 4.2.2.1 氧化铁薄膜的表征 | 第48-50页 |
| 4.2.2.2 p型氧化铁薄膜的形成机理 | 第50-52页 |
| 4.2.3 p型氧化铁纳米管薄膜气敏机理 | 第52页 |
| 4.3 氧化铁纳米管薄膜的气敏性能 | 第52-57页 |
| 4.3.1 α-Fe_20_3纳米管薄膜对丙酮的气敏性能 | 第52-55页 |
| 4.3.2 α-Fe_20_3纳米管薄膜的选择性 | 第55-56页 |
| 4.3.3 p型气敏传感器性能比较 | 第56-57页 |
| 4.4 退火温度对气敏性能的影响 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |