| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究发展及现状 | 第9-17页 |
| 1.2.1 微加速度计整体发展趋势 | 第9-11页 |
| 1.2.2 Sigma-delta 数字加速度计接口电路发展及现状 | 第11-16页 |
| 1.2.3 谐波失真研究现状及问题 | 第16-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 Sigma-delta 数字加速度计工作原理 | 第18-32页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 电容式机械敏感单元检测原理 | 第18-22页 |
| 2.3 Sigma-delta 调制原理 | 第22-28页 |
| 2.3.1 过采样原理 | 第22-23页 |
| 2.3.2 噪声整形原理 | 第23-24页 |
| 2.3.3 Sigma-delta 调制器结构 | 第24-26页 |
| 2.3.4 Sigma-delta 微机电系统结构 | 第26-28页 |
| 2.4 谐波失真产生机理 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 Sigma-delta 数字加速度计系统级设计与谐波失真分析 | 第32-53页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 Sigma-delta 数字加速度计系统级设计与理想模型建立 | 第32-35页 |
| 3.3 Sigma-delta 数字加速度计谐波失真分析 | 第35-50页 |
| 3.3.1 机械敏感单元非线性分析 | 第36-37页 |
| 3.3.2 静电力反馈非线性分析与模型 | 第37-41页 |
| 3.3.3 积分器非线性建立过程分析与模型 | 第41-45页 |
| 3.3.4 开关非线性分析 | 第45-50页 |
| 3.4 Sigma-delta 数字加速度计系统谐波失真综合分析与优化 | 第50-52页 |
| 3.4.1 Sigma-delta 数字加速度计系统非理想模型 | 第50页 |
| 3.4.2 前级增益对系统谐波的影响 | 第50-51页 |
| 3.4.3 系统结构参数优化 | 第51页 |
| 3.4.4 各个模块非线性对系统谐波的影响综合性分析及优化 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 Sigma-delta 数字加速度计接口电路设计与谐波失真分析 | 第53-70页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 四阶 Sigma-delta 数字加速度计接口电路整体结构 | 第53-55页 |
| 4.3 开关设计与优化 | 第55-57页 |
| 4.4 运放设计 | 第57-59页 |
| 4.5 前级检测读出电路设计与仿真 | 第59页 |
| 4.6 后级模数转换电路设计 | 第59-65页 |
| 4.6.1 开关电容积分器设计与仿真 | 第60-62页 |
| 4.6.2 前馈求和电路设计 | 第62-63页 |
| 4.6.3 相位补偿器设计 | 第63-64页 |
| 4.6.4 比较器设计与仿真 | 第64-65页 |
| 4.7 四阶 Sigma-delta 数字加速度计接口电路整体仿真 | 第65-67页 |
| 4.8 电学部分谐波失真分析与优化 | 第67-69页 |
| 4.8.1 开关尺寸的优化 | 第67-68页 |
| 4.8.2 运放非理想特性的影响 | 第68页 |
| 4.8.3 全差分结构对谐波失真的优化 | 第68-69页 |
| 4.9 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
