强激光光学零件感应耦合等离子体抛光系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第9-11页 |
| 1.3 非球面超精密抛光技术国内外发展概况 | 第11-19页 |
| 1.3.1 气囊抛光 | 第11-12页 |
| 1.3.2 磁流变抛光 | 第12-13页 |
| 1.3.3 离子束加工 | 第13-14页 |
| 1.3.4 大气等离子体加工 | 第14-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 感应耦合等离子体机床机械系统设计 | 第20-34页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 机械系统原理设计及运动学分析 | 第20-27页 |
| 2.2.1 机械系统原理设计 | 第20-22页 |
| 2.2.2 机械系统运动学分析 | 第22-25页 |
| 2.2.3 五轴机械系统的后置处理方法 | 第25-27页 |
| 2.3 机械系统结构设计与分析 | 第27-32页 |
| 2.3.1 机械系统结构设计 | 第27-29页 |
| 2.3.2 机械系统结构分析 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 感应耦合等离子体机床数控系统设计 | 第34-51页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 机床数控系统总体结构 | 第34-35页 |
| 3.3 数控系统硬件及接口设计 | 第35-45页 |
| 3.3.1 多轴联动运动控制硬件组成 | 第35-40页 |
| 3.3.2 等离子体发生及其监控系统 | 第40-43页 |
| 3.3.3 机床加工过程监控系统 | 第43-45页 |
| 3.4 数控系统软件设计与实现 | 第45-50页 |
| 3.4.1 功能函数的调用 | 第45-47页 |
| 3.4.2 数据库的链接 | 第47-48页 |
| 3.4.3 人机交互界面设计 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 感应耦合等离子体抛光算法及工艺研究 | 第51-67页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 感应耦合等离子体抛光算法研究 | 第51-57页 |
| 4.2.1 感应耦合等离子体抛光成形原理 | 第51-53页 |
| 4.2.2 抛光算法实现与分析 | 第53-57页 |
| 4.3 感应耦合等离子体抛光工艺验证 | 第57-66页 |
| 4.3.1 单位去除函数鲁棒性实验 | 第57-59页 |
| 4.3.2 运动加工沟槽实验 | 第59-61页 |
| 4.3.3 边缘加工实验 | 第61-63页 |
| 4.3.4 保形加工实验 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
