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铁酸铋固溶体薄膜的外延生长及其性能调控

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
注释表第11-12页
第一章 绪论第12-29页
    1.1 引言第12页
    1.2 多铁性材料概述第12-19页
        1.2.1 铁电性与自发极化第12-13页
        1.2.2 铁磁性与自发磁化第13-14页
        1.2.3 多铁性与磁电效应第14-16页
        1.2.4 单相多铁性材料的分类第16-19页
    1.3 单相铁性材料铁酸铋 BiFeO_3的研究进展第19-28页
        1.3.1 BiFeO_3的晶体结构与基本铁性第19-21页
        1.3.2 纯相 BiFeO_3薄膜的多铁性能第21-22页
        1.3.3 掺杂 BiFeO_3薄膜的研究进展第22-24页
        1.3.4 BiFeO_3薄膜半导体性的研究进展第24-26页
        1.3.5 BiFeO_3薄膜光伏效应的研究进展第26-28页
    1.4 本论文的主要研究内容第28-29页
第二章 BiFeO_3基薄膜样品的制备工艺及性能表征第29-39页
    2.1 薄膜的几种制备工艺简介第29-31页
        2.1.1 磁控溅射法第29页
        2.1.2 溶胶凝胶法(Sol-Gel)第29-30页
        2.1.3 脉冲激光沉积法(PLD)第30-31页
    2.2 固相烧结法制备 BFO 基陶瓷靶材第31-33页
        2.2.1 实验原料及设备第31-32页
        2.2.2 陶瓷靶材的制备工艺第32-33页
    2.3 脉冲激光沉积法制备 BFO 基薄膜第33-36页
        2.3.1 PLD 技术的实验原理第33-34页
        2.3.2 PLD 法制备薄膜的生长工艺第34-35页
        2.3.3 薄膜电极的制备第35-36页
    2.4 BFO 基薄膜的结构性能表征第36-39页
        2.4.1 X 射线衍射分析第36页
        2.4.2 扫描探针显微镜分析第36-38页
        2.4.3 铁电性能测试第38页
        2.4.4 磁学性能测试第38页
        2.4.5 光学透射谱测试第38-39页
第三章 外延 BiFeO_3基薄膜的制备与性能分析第39-51页
    3.1 引言第39页
    3.2 0.9BFO-0.1TMO 陶瓷靶材第39-40页
    3.3 衬底材料和温度对 0.9BFO-0.1TMO 薄膜性质的影响第40-44页
        3.3.1 物相分析第40-41页
        3.3.2 表面形貌分析第41-42页
        3.3.3 压电性能测试第42-43页
        3.3.4 铁电性能测试第43-44页
    3.4 底电极对外延 0.9BFO-0.1TMO 薄膜性质的影响第44-50页
        3.4.1 物相分析第45页
        3.4.2 表面形貌分析第45-46页
        3.4.3 压电性能测试第46-48页
        3.4.4 铁电性能测试第48-50页
    3.5 本章小结第50-51页
第四章 BiFeO_3-YMnO_3体系薄膜的织构及性能研究第51-59页
    4.1 引言第51页
    4.2 BFO-YMO 固溶体系薄膜的制备第51页
    4.3 BFO-YMO 固溶体系薄膜的结构及性能研究第51-58页
        4.3.1 物相分析第51-52页
        4.3.2 表面形貌分析第52-53页
        4.3.3 铁电性能测试第53-54页
        4.3.4 磁学性能测试第54-56页
        4.3.5 透射谱分析第56-58页
    4.4 本章小结第58-59页
第五章 总结与展望第59-61页
    5.1 本论文的主要结论第59-60页
    5.2 对未来工作的展望第60-61页
参考文献第61-67页
致谢第67-68页
攻读硕士学位期间发表的论文第68页

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