| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.2.1 加工表面及亚表面损伤检测研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2.2 无损检测研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.3 激光声表面波技术的国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.1 激光声表面波的激发技术国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.2 激光声表面波的检测技术国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 正交偏振差分干涉仪检测声表面波系统的设计 | 第19-37页 |
| 2.1 光的叠加与干涉原理 | 第19-20页 |
| 2.2 经典迈克尔逊干涉仪 | 第20-21页 |
| 2.3 基于改进的迈克尔逊干涉仪检测声表面波系统 | 第21-23页 |
| 2.4 基于琼斯矩阵推导的系统检测理论 | 第23-29页 |
| 2.4.1 偏振光波的基本理论 | 第23-25页 |
| 2.4.2 常见偏振光学元件的琼斯矩阵 | 第25-29页 |
| 2.5 系统选型 | 第29-34页 |
| 2.5.1 氦氖激光器(HRS015) | 第29-30页 |
| 2.5.2 平衡探测器(Newfocus1607—AC) | 第30-32页 |
| 2.5.3 功率与位移变化的理论计算 | 第32页 |
| 2.5.4 功率计(PM100D) | 第32-34页 |
| 2.6 光学元件的选择 | 第34-36页 |
| 2.7 采集装置 | 第36页 |
| 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 正交偏振差分迈克尔逊干涉仪声表面波检测系统的搭建、调试与标定 | 第37-51页 |
| 3.1 干涉仪实验平台的搭建 | 第37-38页 |
| 3.2 干涉仪的调试 | 第38-42页 |
| 3.2.1 干涉圆环和差分信号 | 第38-39页 |
| 3.2.2 系统功率损失 | 第39页 |
| 3.2.3 干涉条纹可见度 | 第39-42页 |
| 3.3 干涉仪检测系统标定 | 第42-49页 |
| 3.3.1 标定实验所用设备 | 第42-43页 |
| 3.3.2 静态标定实验 | 第43-44页 |
| 3.3.3 动态标定实验 | 第44-48页 |
| 3.3.4 定性验证条纹的正确性 | 第48-49页 |
| 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 声表面波测试应用实验 | 第51-65页 |
| 4.1 声表面波有效信号截取方法 | 第51-53页 |
| 4.2 声表面波信号的检测 | 第53-58页 |
| 4.2.1 不同样品上的声表面波信号 | 第53-55页 |
| 4.2.2 与接触式检测系统对比 | 第55-58页 |
| 4.3 系统噪声分析 | 第58-61页 |
| 4.4 干涉仪系统重复性实验 | 第61-62页 |
| 4.5 粗糙度对声表面波相速度的影响 | 第62-64页 |
| 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 本文主要工作内容 | 第65-66页 |
| 5.2 论文创新点 | 第66页 |
| 5.3 工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
