| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 目次 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10-13页 |
| 1.2 光纤到户接入网 | 第13-14页 |
| 1.3 二氧化硅平面光波导器件 | 第14-15页 |
| 1.4 论文章节安排及创新内容 | 第15-16页 |
| 2 光波导理论分析及常用数值求解方法 | 第16-20页 |
| 2.1 光波导基本理论 | 第16-17页 |
| 2.2 有限差分法求解波导的本征模 | 第17-19页 |
| 2.2.1 有限差分法求解波导的本征模 | 第17-18页 |
| 2.2.2 完美匹配边界条件 | 第18-19页 |
| 2.3 光束传播法(BPM) | 第19-20页 |
| 3 基于级联MMI的硅基二氧化硅三向复用器 | 第20-34页 |
| 3.1 分析与设计 | 第20-21页 |
| 3.2 制作工艺 | 第21-31页 |
| 3.2.1 二氧化硅薄膜制备 | 第22-25页 |
| 3.2.2 光刻 | 第25-27页 |
| 3.2.3 刻蚀 | 第27-28页 |
| 3.2.4 硅基二氧化硅单纤三向波分复用器的制作工艺 | 第28-31页 |
| 3.3 测试 | 第31-32页 |
| 3.4 小结 | 第32-34页 |
| 4 用于耦合封装的V型槽 | 第34-42页 |
| 4.1 分析与设计 | 第34-35页 |
| 4.2 制作工艺 | 第35-40页 |
| 4.3 测试 | 第40-41页 |
| 4.4 小结 | 第41-42页 |
| 5 Y分支功分器 | 第42-50页 |
| 5.1 功分器的种类 | 第42页 |
| 5.2 功分器的主要技术参数 | 第42-43页 |
| 5.3 Y分支参数优化 | 第43-47页 |
| 5.4 Y分支工艺制作 | 第47-50页 |
| 6 总结及展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 作者简历及硕士期间发表的论文 | 第58页 |