| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·SAW 加速度传感器先概述 | 第7-8页 |
| ·SAW 加速度传感器的应用 | 第8页 |
| ·国内外SAW 加速度传感器研究的现状及本论文任务 | 第8-9页 |
| ·论文的结构安排 | 第9-11页 |
| 2 声表面波及声表面波器件概述 | 第11-20页 |
| ·声表面波的类别 | 第11-16页 |
| ·瑞利波 | 第11页 |
| ·电声波、乐甫波、和拉姆波 | 第11-12页 |
| ·声表面波激励器件——叉指换能器 | 第12-16页 |
| ·几种相关器件描述 | 第16-19页 |
| ·SAW 谐振器 | 第16-17页 |
| ·SAW 振荡器 | 第17-18页 |
| ·SAW 带通滤波器 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 SAW 加速度传感器概述 | 第20-34页 |
| ·声表面波加速度传感器的结构形式 | 第20-21页 |
| ·声表面波加速度传感器的静态特性分析 | 第21-27页 |
| ·悬臂梁应力分析 | 第21-22页 |
| ·声表面波谐振器敏感应变的原理 | 第22-24页 |
| ·声表面波加速度传感器的灵敏系数推导 | 第24-27页 |
| ·声表面波加速度传感器的动态特性分析 | 第27-31页 |
| ·加速度传感器数学模型推导 | 第27-29页 |
| ·声表面波加速度传感器信号分析 | 第29-31页 |
| ·声表面波加速度传感器误差分析 | 第31-33页 |
| ·温度误差分析 | 第31页 |
| ·振动误差分析 | 第31-32页 |
| ·重力加速度误差分析 | 第32页 |
| ·短期稳定性与老化误差分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 SAW 加速度传感器信号检测系统 | 第34-49页 |
| ·SAW 加速度传感器信号检测系统概述 | 第34-35页 |
| ·悬臂梁式SAW 加速度传感器差动结构的改进方案 | 第35-37页 |
| ·有源滤波原理 | 第37-39页 |
| ·Multisim10 软件简介 | 第39-44页 |
| ·Multisim10 概述 | 第39-40页 |
| ·波特图示仪与双通道示波器简介 | 第40-44页 |
| ·有源滤波放大电路的设计与分析 | 第44-48页 |
| ·二阶低通滤波器原理分析 | 第44-46页 |
| ·滤波放大电路设计及分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 SAW 信号检测方法的设计与改进 | 第49-57页 |
| ·传统测频法的不足 | 第49-50页 |
| ·等精度测频法的改进 | 第50-52页 |
| ·等精度测频法原理及误差分析 | 第50-51页 |
| ·等精度测频的改进方案 | 第51-52页 |
| ·一种新的测频法 | 第52-56页 |
| ·测频原理 | 第52-54页 |
| ·分频、计数以及显示模块的设计 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 结论 | 第57-58页 |
| ·结论 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62页 |