| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 超精密机床的国内外发展现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 超精密机床的国外发展现状 | 第15-20页 |
| 1.2.2 超精密机床的国内发展现状 | 第20-22页 |
| 1.3 流体静压支承的研究现状 | 第22-26页 |
| 1.3.1 流体静压支承在超精密机床的应用 | 第22页 |
| 1.3.2 液体静压支承的研究现状 | 第22-24页 |
| 1.3.3 气体静压支承的研究现状 | 第24-26页 |
| 1.4 机床动态特性的研究现状 | 第26-28页 |
| 1.5 工件表面形貌表征及分析方法 | 第28-30页 |
| 1.5.1 功率谱密度分析方法 | 第29-30页 |
| 1.5.2 小波分析方法 | 第30页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第2章 超精密金刚石车床流体静压支承性能的研究 | 第32-61页 |
| 2.1 引言 | 第32页 |
| 2.2 流体静压支承的数学模型 | 第32-34页 |
| 2.3 液体静压导轨静态性能的有限元计算模型 | 第34-44页 |
| 2.3.1 液体静压导轨的结构 | 第34-35页 |
| 2.3.2 考虑支撑面倾斜情况时的油腔流量 | 第35-39页 |
| 2.3.3 液体润滑方程的有限元表示 | 第39-41页 |
| 2.3.4 考虑支承面倾斜情况的导轨油膜厚度 | 第41-42页 |
| 2.3.5 液体静压导轨刚度角刚度的计算 | 第42-44页 |
| 2.4 液体静压导轨静态性能分析与影响因素研究 | 第44-50页 |
| 2.4.1 液体静压导轨性能分析 | 第44-46页 |
| 2.4.2 液体静压导轨性能影响因素研究 | 第46-50页 |
| 2.5 气体静压主轴静态性能的有限元计算模型 | 第50-56页 |
| 2.5.1 气体静压支承与液体静压支承的区别 | 第50-51页 |
| 2.5.2 气体静压主轴的结构 | 第51页 |
| 2.5.3 气体润滑方程的有限元表示 | 第51-54页 |
| 2.5.4 考虑支承面倾斜情况的气膜厚度 | 第54-55页 |
| 2.5.5 气体静压主轴刚度角刚度的计算 | 第55-56页 |
| 2.6 气体静压主轴静态性能分析与影响因素研究 | 第56-60页 |
| 2.6.1 气体静压主轴性能分析 | 第56-58页 |
| 2.6.2 气体静压主轴性能影响因素分析 | 第58-60页 |
| 2.7 本章小结 | 第60-61页 |
| 第3章 超精密金刚石车床动力学建模与参数辨识 | 第61-79页 |
| 3.1 引言 | 第61页 |
| 3.2 超精密金刚石车床的结构特征 | 第61-62页 |
| 3.3 超精密金刚石车床动力学模型的建立 | 第62-66页 |
| 3.4 超精密金刚石车床刚度角刚度和阻尼辨识 | 第66-71页 |
| 3.4.1 导轨和主轴刚度角刚度实验辨识 | 第66-68页 |
| 3.4.2 导轨和主轴阻尼实验辨识 | 第68-71页 |
| 3.5 超精密金刚石车床运动控制系统模型的建立 | 第71-77页 |
| 3.5.1 液体静压导轨运动控制系统模型的建立 | 第71-76页 |
| 3.5.2 气体静压主轴运动控制系统模型的建立 | 第76-77页 |
| 3.6 本章小结 | 第77-79页 |
| 第4章 超精密金刚石车床动态特性及影响因素的研究 | 第79-103页 |
| 4.1 引言 | 第79页 |
| 4.2 超精密金刚石车床动态特性的评定参数 | 第79-80页 |
| 4.3 超精密金刚石车床的模态分析 | 第80-82页 |
| 4.4 超精密金刚石车床动态特性分析 | 第82-89页 |
| 4.4.1 机床 Z 轴部分动态特性分析 | 第82-85页 |
| 4.4.2 机床 X 轴部分动态特性分析 | 第85-89页 |
| 4.5 超精密金刚石车床动态特性影响因素分析 | 第89-96页 |
| 4.5.1 导轨刚度对机床 Z 轴部分动态特性的影响 | 第89-90页 |
| 4.5.2 导轨和主轴刚度对机床 X 轴部分动态特性的影响 | 第90-94页 |
| 4.5.3 阻尼对机床动态特性的影响 | 第94-96页 |
| 4.6 超精密金刚石车床刀具伺服加工精度影响因素的研究 | 第96-101页 |
| 4.6.1 慢速刀具伺服加工时溜板运动精度的研究 | 第96-98页 |
| 4.6.2 快速刀具伺服加工对机床运动精度影响的研究 | 第98-101页 |
| 4.7 本章小结 | 第101-103页 |
| 第5章 基于工件表面形貌分析的超精密金刚石车床动态特性研究 | 第103-117页 |
| 5.1 引言 | 第103页 |
| 5.2 超精密金刚石车床振动特性的实验研究 | 第103-106页 |
| 5.3 基于车削加工表面的功率谱密度分析和机床振动辨识 | 第106-110页 |
| 5.3.1 机床振动频率与工件表面空间波长的关系 | 第106-107页 |
| 5.3.2 车削加工表面的功率谱密度分析与机床振动辨识 | 第107-110页 |
| 5.4 车削加工表面的小波多尺度分析和特定频率表面的提取 | 第110-116页 |
| 5.4.1 车削加工表面的小波多尺度分解与重构 | 第110-114页 |
| 5.4.2 特定频率表面特征的提取 | 第114-116页 |
| 5.5 本章小结 | 第116-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 个人简历 | 第132页 |
