| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 微纳构件加工表面性能演变的研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 微纳构件加工表面性能演变研究进展 | 第15-18页 |
| 1.2.2 蒙特卡罗方法在微纳加工及相关领域中的应用 | 第18-23页 |
| 1.3 微纳构件力学特性的研究进展 | 第23-28页 |
| 1.3.1 微纳构件拉伸力学特性的分子动力学方法模拟研究进展 | 第23-24页 |
| 1.3.2 微纳构件拉伸力学特性的多尺度方法模拟研究进展 | 第24-27页 |
| 1.3.3 微纳构件拉伸力学特性的蒙特卡罗方法模拟研究进展 | 第27-28页 |
| 1.4 目前研究存在的不足 | 第28页 |
| 1.4.1 微纳构件加工表面性能演变研究存在的不足 | 第28页 |
| 1.4.2 微纳构件拉伸力学特性仿真存在的不足 | 第28页 |
| 1.5 论文的主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 蒙特卡罗方法的基本理论及仿真建模 | 第30-46页 |
| 2.1 引言 | 第30页 |
| 2.2 蒙特卡罗仿真方法 | 第30-37页 |
| 2.2.1 蒙特卡罗方法的基本原理 | 第30-31页 |
| 2.2.2 Metropolis 蒙特卡罗方法 | 第31-33页 |
| 2.2.3 描述模拟体系的势能函数 | 第33-37页 |
| 2.3 微纳构件加工表面性能演变及力学性能仿真建模 | 第37-45页 |
| 2.3.1 仿真模型的建立 | 第37-39页 |
| 2.3.2 仿真程序及核心算法流程设计 | 第39-41页 |
| 2.3.3 GPU 加速计算技术 | 第41-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 单晶铜微纳构件加工表面性能时变性分析 | 第46-68页 |
| 3.1 引言 | 第46页 |
| 3.2 单晶铜纳米切削表面能量时效过程仿真研究 | 第46-56页 |
| 3.2.1 单晶铜表面能量时效仿真模型建立 | 第46-48页 |
| 3.2.2 表面能量时效过程中系统势能的演变 | 第48-49页 |
| 3.2.3 表面能量时效作用对微纳构件加工表面粗糙度的影响 | 第49-53页 |
| 3.2.4 表面能量时效作用对微纳构件有序度的影响 | 第53-56页 |
| 3.3 表面能量时效作用对单晶铜工件加工表面性能的影响 | 第56-67页 |
| 3.3.1 表面能量时效作用对微纳构件中的缺陷结构的影响 | 第56-60页 |
| 3.3.2 表面能量时效作用对微纳构件中的残余应力分布的影响 | 第60-63页 |
| 3.3.3 表面能量时效作用对微纳构件中的势能分布的影响 | 第63-64页 |
| 3.3.4 表面能量时效作用对微纳构件中的相变结构的影响 | 第64-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 单晶硅纳米切削加工表面性能演变规律的研究 | 第68-87页 |
| 4.1 引言 | 第68页 |
| 4.2 单晶硅纳米切削表面能量时效过程的仿真研究 | 第68-80页 |
| 4.2.1 单晶硅表面能量时效仿真模型及方法 | 第68-71页 |
| 4.2.2 单晶硅微纳构件表面能量时效作用对其势能演变的影响 | 第71-73页 |
| 4.2.3 单晶硅微纳构件表面能量时效作用对其表面形貌的影响 | 第73-77页 |
| 4.2.4 单晶硅微纳构件表面能量时效作用对其残余应力的影响 | 第77-80页 |
| 4.3 单晶硅微纳构件在表面能量时效过程中结构变化分析 | 第80-85页 |
| 4.3.1 单晶硅微纳构件在表面能量时效过程中有序度分析 | 第81-83页 |
| 4.3.2 单晶硅微纳构件在表面能量时效过程中相变结构分析 | 第83-85页 |
| 4.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 第5章 微纳构件拉伸力学特性的研究 | 第87-109页 |
| 5.1 引言 | 第87页 |
| 5.2 表面能量时效作用对单晶铜微纳构件拉伸力学性能的影响 | 第87-94页 |
| 5.2.1 单晶铜微纳构件表面能量时效前后拉伸力学特性 | 第87-92页 |
| 5.2.2 拉伸速度对单晶铜工件表面能量时效作用的影响 | 第92-94页 |
| 5.3 表面能量时效作用对单晶硅微纳构件拉伸力学性能的影响 | 第94-100页 |
| 5.3.1 单晶硅表面能量时效前后拉伸力学特性分析 | 第94-98页 |
| 5.3.2 拉伸速度对单晶硅表面能量时效作用的影响 | 第98-100页 |
| 5.4 单晶铜微纳构件力学特性的各向异性 | 第100-108页 |
| 5.4.1 单晶铜微纳构件塑性变形的各向异性 | 第100-107页 |
| 5.4.2 单晶铜微纳构件拉伸力学性能的各向异性 | 第107-108页 |
| 5.5 本章小结 | 第108-109页 |
| 结论 | 第109-112页 |
| 参考文献 | 第112-119页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 个人简历 | 第122页 |
