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基于MEMS低频压电能量采集器的设计与研究

摘要第3-5页
abstract第5-6页
第1章 绪论第10-22页
    1.1 课题研究背景及意义第10-11页
    1.2 振动式微能源的类型及特点第11-13页
        1.2.1 电磁式能量采集器第11页
        1.2.2 静电式能量采集器第11-12页
        1.2.3 压电式能量采集器第12页
        1.2.4 磁致伸缩式能量采集器第12-13页
        1.2.5 复合式能量采集器第13页
    1.3 压电式能量采集器研究进展第13-20页
    1.4 课题来源第20页
    1.5 论文主要研究内容第20-21页
    1.6 本章小结第21-22页
第2章 三自由度压电振动能量采集器理论与建模第22-33页
    2.1 压电效应以及压电方程第22-26页
        2.1.1 压电效应与工作耦合模式第22-24页
        2.1.2 边界条件与压电方程第24-26页
    2.2 三自由度压电能量采集器理论模型第26-31页
        2.2.1 悬臂梁结构及模型分析第26-28页
        2.2.2 机电耦合模型分析第28-30页
        2.2.3 等效电路模型分析第30-31页
    2.3 本章小结第31-33页
第3章 分叉型三自由度压电能量采集器结构设计与分析第33-48页
    3.1 分叉型三自由度结构设计第33-35页
    3.2 分叉型三自由度结构有限元仿真分析及优化第35-42页
        3.2.1 ANSYS有限元分析流程与建模第35-36页
        3.2.2 分叉型结构稳定性与固有频率分析第36-39页
        3.2.3 分叉型三自由度结构压电性能分析第39-42页
    3.3 分叉型三自由度器件功率分析及优化第42-47页
        3.3.1 等效电路理论分析第42-44页
        3.3.2 电路仿真分析及优化第44-47页
    3.4 本章小结第47-48页
第4章 镂空型三自由度宽频带压电能量采集器设计与研究第48-61页
    4.1 压电能量采集器结构设计第48-49页
    4.2 压电能量采集器力学模块性能分析第49-54页
        4.2.1 器件应力与稳定性分析第50-52页
        4.2.2 器件固有频率模态分析第52-54页
    4.3 压电能量采集器电学模块性能分析第54-60页
        4.3.1 器件结构参数与开路输出电压关系研究第54-57页
        4.3.2 负载功率及器件结构优化研究第57-60页
    4.4 本章小结第60-61页
第5章 三自由度压电能量采集器实现性仿真与分析第61-71页
    5.1 分叉型能量采集器工艺制备流程第61-65页
        5.1.1 悬臂梁工艺制备流程第61-63页
        5.1.2 镍质量块制备过程第63-64页
        5.1.3 PZT压电薄膜的制备第64-65页
    5.2 镂空型压电能量采集器制备流程及分析第65-70页
        5.2.1 镂空型压电能量采集器制备流程第65-66页
        5.2.2 镂空型压电能量采集器工艺仿真分析第66-70页
    5.3 本章小结第70-71页
第6章 总结与展望第71-74页
    6.1 总结第71-72页
    6.2 展望第72-74页
参考文献第74-80页
附录A 命令流第80-83页
致谢第83-84页
攻读硕士学位期间从事的科研工作及取得的成果第84页

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