| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-31页 |
| 1.1 传感器概述 | 第12-13页 |
| 1.2 气体传感器概述 | 第13-17页 |
| 1.2.1 气体传感器简介 | 第14页 |
| 1.2.2 气体传感器的分类 | 第14-16页 |
| 1.2.3 气体传感器的应用和发展前景 | 第16-17页 |
| 1.3 敏感材料概述 | 第17-22页 |
| 1.3.1 敏感材料类别 | 第17-18页 |
| 1.3.2 主要气敏半导体材料 | 第18-19页 |
| 1.3.3 敏感材料的制备 | 第19-21页 |
| 1.3.4 敏感材料的表征技术 | 第21-22页 |
| 1.4 气体传感器的抗湿性 | 第22-25页 |
| 1.4.1 湿度及其表示方法 | 第22-23页 |
| 1.4.2 湿度的发生装置 | 第23-24页 |
| 1.4.3 传感器抗湿性的应用及研究现状 | 第24-25页 |
| 1.5 热线型气体传感器 | 第25-29页 |
| 1.5.1 热线型气体传感器概述 | 第25-26页 |
| 1.5.2 热线型气体传感器结构和气敏机理 | 第26-28页 |
| 1.5.3 热线型气体传感器研究现状 | 第28-29页 |
| 1.6 选题背景和研究意义 | 第29页 |
| 1.7 课题研究内容 | 第29-31页 |
| 2 SnO_2基热线型气体传感器抗湿性 | 第31-45页 |
| 2.1 实验试剂与仪器 | 第31-32页 |
| 2.2 材料制备 | 第32页 |
| 2.2.1 SnO_2纳米材料制备 | 第32页 |
| 2.2.2 ATO纳米材料制备 | 第32页 |
| 2.3 材料表征 | 第32-35页 |
| 2.3.1 FT-IR表征 | 第32-33页 |
| 2.3.2 XRD表征 | 第33-34页 |
| 2.3.3 SEM表征 | 第34-35页 |
| 2.4 SnO_2基热线型气体传感器的制作及抗湿性测试 | 第35-36页 |
| 2.5 测试结果分析 | 第36-40页 |
| 2.5.1 响应值与工作电压的变化关系 | 第36-38页 |
| 2.5.2 响应值与相对湿度的变化关系 | 第38-39页 |
| 2.5.3 响应值与目标气体浓度的变化关系 | 第39-40页 |
| 2.5.4 传感器长期稳定性 | 第40页 |
| 2.6 气敏机理及抗湿机理 | 第40-43页 |
| 2.7 本章小结 | 第43-45页 |
| 3 低价金属元素掺杂的SnO_2基热线型气体传感器抗湿性 | 第45-59页 |
| 3.1 实验试剂与仪器 | 第45页 |
| 3.2 纳米复合材料制备 | 第45-46页 |
| 3.2.1 Zn掺杂SnO_2纳米粉末制备 | 第45-46页 |
| 3.2.2 Mg掺杂SnO_2纳米粉末制备 | 第46页 |
| 3.2.3 Cu掺杂SnO_2纳米粉末制备 | 第46页 |
| 3.3 材料表征 | 第46-49页 |
| 3.3.1 FT-IR表征 | 第46-47页 |
| 3.3.2 XRD表征 | 第47-48页 |
| 3.3.3 SEM表征 | 第48-49页 |
| 3.4 响应值和抗湿性测试及分析 | 第49-55页 |
| 3.4.1 响应值与工作电压的变化关系 | 第49-52页 |
| 3.4.2 响应值与相对湿度的变化关系 | 第52-54页 |
| 3.4.3 响应值与目标气体浓度的变化关系 | 第54-55页 |
| 3.4.4 传感器的长期稳定性 | 第55页 |
| 3.5 机理分析 | 第55-57页 |
| 3.6 本章小结 | 第57-59页 |
| 4 Si掺杂的SnO_2基热线型气体传感器抗湿性 | 第59-69页 |
| 4.1 实验试剂与设备 | 第59页 |
| 4.2 Si掺杂SnO_2基纳米材料的制备 | 第59-60页 |
| 4.3 材料表征 | 第60-62页 |
| 4.3.1 FT-IR表征 | 第60页 |
| 4.3.2 XRD表征 | 第60-61页 |
| 4.3.3 SEM表征 | 第61-62页 |
| 4.4 响应值与抗湿性测试及分析 | 第62-66页 |
| 4.4.1 响应值与工作电压的变化关系 | 第62-63页 |
| 4.4.2 响应值与相对湿度的变化关系 | 第63-64页 |
| 4.4.3 响应值与目标气体浓度的变化关系 | 第64-65页 |
| 4.4.4 传感器的长期稳定性 | 第65-66页 |
| 4.5 机理分析 | 第66-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-69页 |
| 5 结论与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |