| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-38页 |
| 1.1 材料中的晶体缺陷 | 第16-21页 |
| 1.1.1 晶体缺陷的类型 | 第17-20页 |
| 1.1.2 晶体缺陷对材料性能的影响 | 第20-21页 |
| 1.2 金属微互连结构中的Kirkendall空洞 | 第21-25页 |
| 1.2.1 固态扩散与Kirkendall空洞 | 第22-24页 |
| 1.2.2 金属微互连结构中Kirkendall空洞生长的影响因素 | 第24-25页 |
| 1.3 裂纹的扩展 | 第25-28页 |
| 1.3.1 裂纹的成因与扩展 | 第25-26页 |
| 1.3.2 裂纹扩展的影响因素 | 第26-28页 |
| 1.4 Kirkendall空洞和裂纹的研究进展 | 第28-31页 |
| 1.4.1 实验研究进展 | 第28-29页 |
| 1.4.2 模拟研究进展 | 第29-30页 |
| 1.4.3 计算机研究方法概述 | 第30-31页 |
| 1.5 晶体相场法的发展与应用 | 第31-34页 |
| 1.5.1 晶体相场法简介 | 第31-32页 |
| 1.5.2 晶体相场法的应用 | 第32-34页 |
| 1.6 论文选题意义及研究内容 | 第34-38页 |
| 1.6.1 论文选题意义 | 第34-36页 |
| 1.6.2 论文研究内容 | 第36-38页 |
| 第二章 晶体相场模型及其数值求解 | 第38-52页 |
| 2.1 前言 | 第38页 |
| 2.2 晶体相场模型的理论基础 | 第38-45页 |
| 2.2.1 晶体相场模型与经典密度泛函理论 | 第38-40页 |
| 2.2.2 单组元晶体相场模型 | 第40-42页 |
| 2.2.3 二元晶体相场模型 | 第42-45页 |
| 2.3 晶体相场模型的数值求解方法及可视化 | 第45-51页 |
| 2.3.1 有限差分法 | 第45-49页 |
| 2.3.2 傅里叶谱方法 | 第49-51页 |
| 2.3.3 可视化过程 | 第51页 |
| 2.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第三章 金属微互连结构合金层厚度及杂质含量对Kirkendall空洞生长行为影响的晶体相场法研究 | 第52-64页 |
| 3.1 前言 | 第52页 |
| 3.2 模型与参数 | 第52-55页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第55-63页 |
| 3.3.1 合金层厚度对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第55-59页 |
| 3.3.2 合金层杂质含量对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第59-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 金属微互连结构中界面对称性及取向对Kirkendall空洞生长行为影响的晶体相场法研究 | 第64-92页 |
| 4.1 前言 | 第64页 |
| 4.2 模型与参数 | 第64-67页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第67-90页 |
| 4.3.1 小角度界面对称性及取向对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第67-79页 |
| 4.3.2 大角度界面对称性及取向对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第79-90页 |
| 4.4 本章小结 | 第90-92页 |
| 第五章 金属微互连结构形变过程对Kirkendall空洞生长行为影响的晶体相场法研究 | 第92-118页 |
| 5.1 前言 | 第92页 |
| 5.2 模型与参数 | 第92-98页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第98-116页 |
| 5.3.1 不同大小恒定的应变速率对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第98-102页 |
| 5.3.2 不同大小双向循环的应变速率对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第102-107页 |
| 5.3.3 不同周期长度双向循环应变速率对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第107-110页 |
| 5.3.4 不同大小单向循环的应变速率对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第110-113页 |
| 5.3.5 不同周期长度单向循环应变速率对Kirkendall空洞生长行为的影响 | 第113-116页 |
| 5.4 本章小结 | 第116-118页 |
| 第六章 金属微互连结构界面微裂纹扩展的晶体相场法研究 | 第118-136页 |
| 6.1 前言 | 第118页 |
| 6.2 模型与参数 | 第118-121页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第121-134页 |
| 6.3.1 初始切口(空位聚集)区域对微裂纹扩展的影响 | 第121-127页 |
| 6.3.2 双向拉伸应变对微裂纹扩展微观形貌的影响 | 第127-130页 |
| 6.3.3 晶粒取向对微裂纹扩展微观形貌的影响 | 第130-134页 |
| 6.4 本章小结 | 第134-136页 |
| 全文总结 | 第136-139页 |
| 参考文献 | 第139-154页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第154-157页 |
| 致谢 | 第157-158页 |
| 附件 | 第158页 |
