| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 透明导电薄膜 | 第9-10页 |
| 1.1.1 透明导电薄膜的发展 | 第9页 |
| 1.1.2 透明导电薄膜的分类 | 第9-10页 |
| 1.2 SnO_2:F透明导电薄膜 | 第10-17页 |
| 1.2.1 SnO_2的晶体结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 SnO_2:F透明导电薄膜的光电性能 | 第11-14页 |
| 1.2.3 SnO_2:F透明导电薄膜的应用 | 第14-16页 |
| 1.2.4 SnO_2:F薄膜的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 聚乙二醇-200 简介 | 第17-18页 |
| 1.4 SnO_2:F透明导电薄膜的制备方法 | 第18-20页 |
| 1.5 研究目的、意义及主要内容 | 第20-21页 |
| 2 实验方法 | 第21-27页 |
| 2.1 薄膜制备设备和化学试剂 | 第21-22页 |
| 2.1.1 薄膜制备设备 | 第21页 |
| 2.1.2 化学试剂 | 第21-22页 |
| 2.2 SnO_2:F透明导电薄膜的制备 | 第22页 |
| 2.3 SnO_2:F透明导电薄膜的微观组织测试 | 第22-24页 |
| 2.3.1 JC2000A静滴接触角/界面张力测量仪 | 第22-23页 |
| 2.3.2 表面粗糙度测试仪 | 第23页 |
| 2.3.3 X射线衍射仪 | 第23页 |
| 2.3.4 扫描电子显微 | 第23页 |
| 2.3.5 原子力显微镜 | 第23-24页 |
| 2.3.6 激光共聚焦 | 第24页 |
| 2.4 SnO_2:F透明导电薄膜光电性能测试 | 第24-27页 |
| 2.4.1 四探针测试仪 | 第24-25页 |
| 2.4.2 紫外-可见分光光度计 | 第25页 |
| 2.4.3 红外分光光度计 | 第25-27页 |
| 3 PEG-200 添加量对SnO_2:F薄膜光电性能的影响 | 第27-41页 |
| 3.1 SnO_2:F薄膜的微观组织分析 | 第28-34页 |
| 3.1.1 SnO_2:F薄膜的膜厚 | 第28页 |
| 3.1.2 SnO_2:F薄膜的XRD分析 | 第28-29页 |
| 3.1.3 SnO_2:F薄膜的SEM分析 | 第29-30页 |
| 3.1.4 SnO_2:F薄膜的AFM分析 | 第30-32页 |
| 3.1.5 SnO_2:F薄膜的润湿性分析 | 第32-34页 |
| 3.2 SnO_2:F薄膜的光电性能分析 | 第34-39页 |
| 3.2.1 SnO_2:F薄膜电学性能分析 | 第34-35页 |
| 3.2.2 SnO_2:F薄膜的光学性能 | 第35-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 可应用于Low-e玻璃的SnO_2:F薄膜的制备工艺与性能 | 第41-57页 |
| 4.1 沉积温度对SnO_2:F薄膜微观组织和光电性能的影响 | 第41-48页 |
| 4.1.1 SnO_2:F薄膜的微观组织分析 | 第42-45页 |
| 4.1.2 SnO_2:F薄膜的光电性能分析 | 第45-48页 |
| 4.2 膜厚对SnO_2:F薄膜微观组织和光电性能的影响 | 第48-55页 |
| 4.2.1 SnO_2:F薄膜的微观组织分析 | 第48-51页 |
| 4.2.2 SnO_2:F薄膜的光电性能分析 | 第51-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 5 可应用于太阳电池的SnO_2:F薄膜的制备工艺与性能 | 第57-61页 |
| 5.1 沉积温度对SnO_2:F薄膜雾度的影响 | 第57-58页 |
| 5.2 膜厚对SnO_2:F薄膜雾度的影响 | 第58-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 结论 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
