| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 文献综述 | 第8-22页 |
| 1.1 超导材料简介 | 第8-9页 |
| 1.2 高温超导材料的研究和应用 | 第9页 |
| 1.3 YBCO高温超导晶体结构和薄膜器件 | 第9-11页 |
| 1.3.1 YBCO的晶体结构 | 第9-10页 |
| 1.3.2 YBCO超导器件 | 第10-11页 |
| 1.4 延迟线简介 | 第11-12页 |
| 1.5 YBCO超导延迟线的制备方法 | 第12-14页 |
| 1.5.1 脉冲激光沉积法 | 第12页 |
| 1.5.2 磁控溅射法 | 第12-13页 |
| 1.5.3 溶胶-凝胶法 | 第13-14页 |
| 1.6 溶胶-凝胶法在制取YBCO薄膜工艺中的应用 | 第14-15页 |
| 1.6.1 无氟溶胶-凝胶工艺制备YBCO薄膜 | 第14-15页 |
| 1.6.2 含氟溶胶-凝胶工艺制备YBCO薄膜 | 第15页 |
| 1.7 光刻法 | 第15-18页 |
| 1.7.1 化学湿法刻蚀法 | 第16-17页 |
| 1.7.2 离子束刻蚀法 | 第17页 |
| 1.7.3 加入化学修饰剂的溶胶-凝胶法 | 第17-18页 |
| 1.8 微带线的发展和应用 | 第18-20页 |
| 1.9 研究内容和思路 | 第20-22页 |
| 2 实验方法与延迟线的设计 | 第22-36页 |
| 2.1 实验方案 | 第22页 |
| 2.2 实验试剂 | 第22-23页 |
| 2.3 实验设备与测试仪器 | 第23-27页 |
| 2.3.1 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.3.2 测试仪器 | 第24-27页 |
| 2.4 延迟线的设计与掩膜的制作 | 第27-36页 |
| 2.4.1 绝对群时延 | 第28页 |
| 2.4.2 相对群时延 | 第28-29页 |
| 2.4.3 插损 | 第29-30页 |
| 2.4.4 特性阻抗 | 第30-32页 |
| 2.4.5 延迟线的结构 | 第32页 |
| 2.4.6 曲折双螺旋结构 | 第32-36页 |
| 3 延迟线的制备 | 第36-50页 |
| 3.1 YBCO/BzAcH溶胶的制备与感光性能的研究 | 第36-40页 |
| 3.1.1 YBCO/BzAc H溶胶的配制 | 第36-37页 |
| 3.1.2 YBCO/BzAc H溶胶的紫外分析 | 第37-39页 |
| 3.1.3 YBCO/BzAc H薄膜的紫外感光特性分析 | 第39-40页 |
| 3.2 YBCO延迟线凝胶膜制备工艺的研究 | 第40-43页 |
| 3.2.1 YBCO延迟线凝胶膜的制备 | 第40-43页 |
| 3.3 YBCO延迟线凝胶膜热处理工艺的研究 | 第43-46页 |
| 3.4 YBCO延迟线表面轮廓的分析 | 第46-47页 |
| 3.5 电路的封装 | 第47-48页 |
| 3.6 小结 | 第48-50页 |
| 4 延迟线的测试 | 第50-56页 |
| 4.1 YBCO薄膜的XRD分析 | 第50页 |
| 4.2 YBCO延迟线的Tc测试 | 第50-52页 |
| 4.3 YBCO延迟线的Jc测试 | 第52-53页 |
| 4.4 YBCO延迟线延时性能的测试 | 第53-55页 |
| 4.5 小结 | 第55-56页 |
| 5 结论 | 第56-58页 |
| 6 存在的问题与改进方案 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
