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热迁移下Ni/Sn-xZn/Ni和Ni/Sn-xCu/Ni微焊点钎焊界面反应研究

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
1 绪论第7-20页
    1.1 微电子封装技术概述第7-9页
    1.2 微电子封装技术的发展趋势第9-11页
        1.2.1 微电子封装的无铅化第9-10页
        1.2.2 微电子封装的微型化第10-11页
    1.3 互连焊点的热迁移行为第11-18页
        1.3.1 热迁移现象第11页
        1.3.2 热迁移的物理机制第11-13页
        1.3.3 热迁移通量及驱动力第13页
        1.3.4 互连焊点热迁移研究历史与现状分析第13-18页
    1.4 本论文研究目的和研究内容第18-20页
2 样品制备与实验方法第20-25页
    2.1 钎料的炼制第20-21页
    2.2 线性微焊点的制备第21-22页
    2.3 微焊点的热迁移及等温回流实验第22-24页
    2.4 微观组织形貌及成分表征第24-25页
3 Ni/Sn-x Zn/Ni微焊点热迁移行为研究第25-42页
    3.1 初始微焊点微观组织第25-26页
    3.2 热迁移过程微焊点微观组织演变第26-36页
        3.2.1 Ni/Sn/Ni第26-29页
        3.2.2 Ni/Sn-1Zn/Ni第29-31页
        3.2.3 Ni/Sn-5Zn/Ni第31-34页
        3.2.4 Ni/Sn-9Zn/Ni第34-36页
    3.3 等温回流过程微焊点微观组织演变第36-38页
    3.4 Zn含量对界面IMC演变的影响机制第38-40页
    3.5 本章小结第40-42页
4 Ni/Sn-xCu/Ni微焊点热迁移行为研究第42-53页
    4.1 初始微焊点微观组织第42-43页
    4.2 热迁移过程微焊点微观组织演变第43-48页
        4.2.1 Ni/Sn-0.3Cu/Ni第43-44页
        4.2.2 Ni/Sn-0.7Cu/Ni第44-45页
        4.2.3 Ni/Sn-1.5Cu/Ni第45-48页
    4.3 Cu含量对界面IMC演变的影响机制第48-50页
    4.4 冷、热端界面IMC生长动力学第50-52页
    4.5 本章小结第52-53页
结论第53-55页
参考文献第55-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文及申请专利情况第60-61页
致谢第61-63页

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