桌面扫描电子显微镜真空控制系统设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第8页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.1.2 研究的意义 | 第8页 |
| 1.2 国外扫描电子显微镜的研究现状和发展趋势 | 第8-10页 |
| 1.3 国内扫描电子显微镜的研究现状和发展趋势 | 第10页 |
| 1.4 本论文主要研究的内容 | 第10-11页 |
| 第2章 真空系统整体设计方案 | 第11-14页 |
| 2.1 桌面扫描电子显微镜的工作环境 | 第11-12页 |
| 2.2 真空系统总体结构设计 | 第12-14页 |
| 第3章 清洁高真空获得系统设计 | 第14-21页 |
| 3.1 清洁高真空获得系统的设计 | 第14-15页 |
| 3.2 真空获得系统的工作过程 | 第15-16页 |
| 3.3 真空获得系统的主要设备选择 | 第16-21页 |
| 3.3.1 涡轮分子泵的选择 | 第16-18页 |
| 3.3.2 干式机械泵的选择 | 第18-19页 |
| 3.3.3 真空计的选择 | 第19-21页 |
| 第4章 真空控制系统硬件电路设计 | 第21-33页 |
| 4.1 真空控制系统硬件电路的总体结构 | 第21-24页 |
| 4.2 电源保护电路的设计 | 第24-26页 |
| 4.3 真空采集电路设计 | 第26-28页 |
| 4.4 AD采集电路设计 | 第28-31页 |
| 4.5 系统PCB设计 | 第31-33页 |
| 第5章 真空控制系统软件设计 | 第33-45页 |
| 5.1 真空控制系统软件的总体设计思路 | 第33-34页 |
| 5.2 Silicon IDE开发环境 | 第34-35页 |
| 5.3 主程序设计 | 第35-38页 |
| 5.4 运行程序设计 | 第38-42页 |
| 5.4.1 抽气状态程序设计 | 第39-41页 |
| 5.4.2 放气状态程序设计 | 第41-42页 |
| 5.5 故障报警程序设计 | 第42-45页 |
| 第6章 控制系统的调试与测试 | 第45-47页 |
| 6.1 控制系统硬件电路的调试与测试 | 第45-46页 |
| 6.2 控制系统软件的调试与测试 | 第46-47页 |
| 第7章 工作总结与展望 | 第47-49页 |
| 7.1 工作总结 | 第47-48页 |
| 7.2 展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51页 |
