| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 ZnO背景知识介绍 | 第9-12页 |
| 1.1.1 ZnO的结构形态 | 第9-10页 |
| 1.1.2 ZnO的基本性质 | 第10-12页 |
| 1.2 ZnO的光学特性 | 第12-15页 |
| 1.3 ZnO薄膜的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 ZnO的应用 | 第16-19页 |
| 第二章 ZnO薄膜制备方法及常见的掺杂 | 第19-24页 |
| 2.1 ZnO薄膜制备方法 | 第19-21页 |
| 2.2 ZnO薄膜的常见掺杂及方法 | 第21-24页 |
| 第三章 Mn、Cu共掺杂对ZnO薄膜性能的影响 | 第24-38页 |
| 3.1 电子束蒸发法制备Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的工艺流程 | 第24-28页 |
| 3.1.1 电子束蒸发的原理 | 第24-26页 |
| 3.1.2 电子束蒸发的总体步骤 | 第26-27页 |
| 3.1.3 本工作的实验条件及实验参数 | 第27-28页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第28-36页 |
| 3.3 小结 | 第36-38页 |
| 第四章 ZnO的S掺杂及其光学性质 | 第38-53页 |
| 4.1 ZnS及合金薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第39-52页 |
| 4.2.1 薄膜晶体质量及结构 | 第39-44页 |
| 4.2.2 薄膜的光学性质 | 第44-52页 |
| 4.3 小结 | 第52-53页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 作者简介 | 第58页 |