| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第12-19页 |
| 1.2 课题研究内容 | 第19-20页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第20-21页 |
| 1.4 参考文献 | 第21-26页 |
| 第二章 高折射率差亚波长光栅介绍 | 第26-44页 |
| 2.1 周期高折射率差亚波长光栅概述 | 第26-27页 |
| 2.2 周期高折射率差亚波长光栅基本特性 | 第27-29页 |
| 2.2.1 宽带高反特性 | 第27-28页 |
| 2.2.2 光栅维度与波长的可扩展性 | 第28-29页 |
| 2.3 周期高折射率差亚波长光栅应用——偏振选择高反镜 | 第29-30页 |
| 2.4 周期亚波长光栅分析理论——严格耦合波分析 | 第30-34页 |
| 2.4.1 严格耦合波分析法简述 | 第30-32页 |
| 2.4.2 严格耦合波分析法的数值实现 | 第32-34页 |
| 2.5 周期亚波长光栅分析理论——“双模”理论 | 第34-39页 |
| 2.5.1 “双模”理论数学模型 | 第34-36页 |
| 2.5.2 “双模”理论推导参数求解 | 第36-37页 |
| 2.5.3 “双模”理论模式分析 | 第37-39页 |
| 2.6 非周期亚波长光栅分析理论——有限元法 | 第39-41页 |
| 2.6.1 有限元法(FEM)简述 | 第39页 |
| 2.6.2 有限元法的实施—COMSOL简介 | 第39-41页 |
| 2.7 参考文献 | 第41-44页 |
| 第三章 非周期条形亚波长光栅的相位控制原理及应用 | 第44-56页 |
| 3.1 非周期条形亚波长光栅的相位控制原理 | 第44-46页 |
| 3.1.1 周期亚波长光栅的高反高透特性 | 第44-45页 |
| 3.1.2 非周期条形亚波长光栅的相位调制原理 | 第45-46页 |
| 3.2 非周期条形亚波长光栅实现光束偏转 | 第46-51页 |
| 3.2.1 光波方向偏转实现的相位条件 | 第46-47页 |
| 3.2.2 具有大角度偏转特性的非周期条形亚波长光栅设计 | 第47-50页 |
| 3.2.3 有限元法对光束偏转亚波长光栅进行数值仿真 | 第50-51页 |
| 3.3 非周期条形亚波长光栅实现光束汇聚 | 第51-54页 |
| 3.3.1 光波汇聚实现的相位条件 | 第51-54页 |
| 3.3.2 非周期条形汇聚光栅的设计与数值仿真 | 第54页 |
| 3.4 参考文献 | 第54-56页 |
| 第四章 二维非周期亚波长光栅设计方法及仿真 | 第56-90页 |
| 4.1 基于数学变换的设计方法及仿真 | 第56-66页 |
| 4.1.1 数学变换设计方法概述 | 第56页 |
| 4.1.2 条形汇聚光栅理论 | 第56-57页 |
| 4.1.3 “线”汇聚与“点”汇聚数学模型 | 第57-62页 |
| 4.1.4 环形光栅的设计方法 | 第62-63页 |
| 4.1.5 仿真与计算分析 | 第63-66页 |
| 4.2 基于微元极限的设计方法及仿真 | 第66-77页 |
| 4.2.1 微元极限设计方法概述 | 第67页 |
| 4.2.2 CCSW-HCGs汇聚反射镜理论背景 | 第67-69页 |
| 4.2.3 CCSW-HCGs汇聚反射镜设计过程 | 第69-72页 |
| 4.2.4 数值仿真与讨论 | 第72-75页 |
| 4.2.5 CCSW-HCG汇聚反射镜的鲁棒性分析 | 第75-77页 |
| 4.3 维阵列光栅设计方法及仿真 | 第77-88页 |
| 4.3.1 二维块状亚波长光栅应用背景简述 | 第77-78页 |
| 4.3.2 维块状亚波长光栅理论背景 | 第78-80页 |
| 4.3.3 2D-BSW-HCG PIFL设计过程 | 第80-84页 |
| 4.3.4 有限元法数值仿真 | 第84-88页 |
| 4.4 参考文献 | 第88-90页 |
| 第五章 基于SOI的亚波长光栅制备及实验测试 | 第90-101页 |
| 5.1 电子束曝光技术 | 第90-91页 |
| 5.2 干法刻蚀 | 第91-93页 |
| 5.3 实验系统设计 | 第93-96页 |
| 5.3.1 透射光栅测试系统 | 第93-94页 |
| 5.3.2 反射光栅测试系统 | 第94-96页 |
| 5.4 实验测试 | 第96-100页 |
| 5.5 参考文献 | 第100-101页 |
| 第六章 总结与展望 | 第101-105页 |
| 6.1 论文内容总结 | 第101-102页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第102-105页 |
| 致谢 | 第105-108页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第108页 |
