| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 氮化硅碳化硅的概述 | 第13-14页 |
| 1.1.1 氮化硅结合碳化硅 | 第13页 |
| 1.1.2 氮化硅结合碳化硅的研究进展 | 第13-14页 |
| 1.2 太阳能级晶体硅切割废料的产生 | 第14-16页 |
| 1.3 国内外多晶硅切割废料浆回收情况 | 第16-17页 |
| 1.4 反应烧结氮化硅结合碳化硅制品的制备 | 第17-21页 |
| 1.4.1 SiC制品的成型工艺 | 第17页 |
| 1.4.2 氮化硅的结构种类及性质 | 第17-18页 |
| 1.4.3 反应烧结技术 | 第18页 |
| 1.4.4 氮化硅结合碳化硅反应机理 | 第18-20页 |
| 1.4.5 反应烧结氮化硅结合碳化硅材料的制备工艺及其机理 | 第20-21页 |
| 1.5 氮化硅结合碳化硅制品微观结构和性能及其影响因素 | 第21-23页 |
| 1.5.1 氮化硅结合碳化硅制品微观结构 | 第21-22页 |
| 1.5.2 氮化硅结合碳化硅制品性能影响因素 | 第22-23页 |
| 1.6 氮化硅结合碳化硅制品主要用途 | 第23-24页 |
| 1.7 本文研究目的、意义及内容 | 第24-27页 |
| 1.7.1 研究目的和意义 | 第24页 |
| 1.7.2 研究内容 | 第24-27页 |
| 第2章 实验设备及检测方法 | 第27-35页 |
| 2.1 实验方案 | 第27-28页 |
| 2.2 实验原料及设备 | 第28-29页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第28页 |
| 2.2.2 实验设备 | 第28-29页 |
| 2.3 碳化硅制品性能检测方法 | 第29-35页 |
| 2.3.1 碳化硅制品的成分和结构检测 | 第29-31页 |
| 2.3.2 密度与气孔率的测定 | 第31-32页 |
| 2.3.3 抗压强度与抗折强度的测定 | 第32-35页 |
| 第3章 晶体硅切割废料的物性研究 | 第35-43页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 物相分析 | 第35-36页 |
| 3.3 化学组成 | 第36页 |
| 3.4 主要成分含量的测定 | 第36-39页 |
| 3.4.1 晶体硅切割废料中硅的定量分析 | 第36-38页 |
| 3.4.2 晶体硅切割废料中碳化硅的定量分析 | 第38-39页 |
| 3.5 粒度分布 | 第39-40页 |
| 3.6 切割废料主要成分的物理化学性质 | 第40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-43页 |
| 第4章 晶体硅切割废料的坯体制备 | 第43-49页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 坯体压制实验过程 | 第43-44页 |
| 4.3 粘结剂选择以及含量对坯体密度的影响 | 第44-45页 |
| 4.4 压力对坯体密度的影响 | 第45-46页 |
| 4.5 保压时间对坯体密度的影响 | 第46-47页 |
| 4.6 最优条件下坯体压制 | 第47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 晶体硅切割废料的氮化实验研究 | 第49-69页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 实验原理 | 第49-50页 |
| 5.3 二硅化铝炉恒温区的测定 | 第50-51页 |
| 5.4 氮化曲线测定及设定二硅化钼炉升温制度 | 第51-52页 |
| 5.4.1 氮化曲线的测定 | 第51页 |
| 5.4.2 二硅化钼炉升温制度 | 第51-52页 |
| 5.5 氮化试验过程 | 第52页 |
| 5.6 实验产物的外貌 | 第52-53页 |
| 5.7 最终氮化温度的实验研究 | 第53-54页 |
| 5.8 氮化时间的实验研究 | 第54-58页 |
| 5.9 坯体密度的实验研究 | 第58-60页 |
| 5.10 坯体厚度的实验研究 | 第60-61页 |
| 5.11 不同硅含量的实验研究 | 第61-65页 |
| 5.12 最优条件下高温氮化制品性能 | 第65-66页 |
| 5.13 本章小结 | 第66-69页 |
| 第6章 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 个人简历 | 第77页 |