| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 耦合器国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第14-15页 |
| 1.4 课题研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 2 太赫兹波导定向耦合器基本原理 | 第16-31页 |
| 2.1 定向耦合器的性能指标 | 第16-18页 |
| 2.2 定向耦合器的网络分析 | 第18-20页 |
| 2.3 波导理论 | 第20-23页 |
| 2.3.1 传播模式以及波导场分布 | 第20-21页 |
| 2.3.2 矩形波导管壁电流分析 | 第21-23页 |
| 2.4 定向耦合器耦合理论 | 第23-29页 |
| 2.4.1 小孔衍射理论 | 第24-26页 |
| 2.4.2 相位叠加定理 | 第26-29页 |
| 2.4.3 二项式响应 | 第29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 太赫兹波导定向耦合器设计 | 第31-45页 |
| 3.1 单孔定向耦合器的设计 | 第31-33页 |
| 3.2 两种多孔波导定向耦合器的建模及仿真 | 第33-37页 |
| 3.2.1“十字形”耦合孔波导定向耦合器设计及仿真 | 第33-35页 |
| 3.2.2“三角形”耦合孔波导定向耦合器设计及仿真 | 第35-37页 |
| 3.3 参数变化对波导定向耦合器性能的影响分析 | 第37-41页 |
| 3.3.1 波导窄壁对波导定向耦合器性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 耦合孔厚度对波导定向耦合器性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3 耦合孔大小对波导定向耦合器性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.4 波导定向耦合器的电场分布 | 第40-41页 |
| 3.4 结构分析 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 太赫兹波导定向耦合器的制备 | 第45-58页 |
| 4.1 MEMS工艺 | 第45-46页 |
| 4.2 定向耦合器版图设计 | 第46-49页 |
| 4.2.1 定向耦合器整体版图 | 第46页 |
| 4.2.2 定向耦合器的分层版图 | 第46-49页 |
| 4.3 重点工艺介绍 | 第49-51页 |
| 4.3.1 金属化 | 第49-51页 |
| 4.3.2 键合工艺 | 第51页 |
| 4.4 工艺流程制定及优化 | 第51-57页 |
| 4.4.1 工艺流程制定 | 第51-54页 |
| 4.4.2 工艺流程优化 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 太赫兹波导定向耦合器的测试及误差分析 | 第58-64页 |
| 5.1 太赫兹波导定向耦合器测试夹具设计 | 第58-60页 |
| 5.2 波导定向耦合器实物测试 | 第60-62页 |
| 5.3 结果误差分析 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 研究工作总结 | 第64-65页 |
| 6.2 进一步研究工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |