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高效GaAs太阳电池表面工程化研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 引言第11-20页
    1.1 太阳电池研究背景和意义第11页
    1.2 太阳电池简介第11-12页
    1.3 GaAs电池研究现状第12-14页
        1.3.1 GaAs电池特点第12-13页
        1.3.2 GaAs电池发展第13页
        1.3.3 GaAs电池目前存在的问题与解决方法第13-14页
    1.4 纳米结构研究现状第14-18页
        1.4.1 纳米结构制备方法第15-17页
        1.4.2 GaAs电池表面纳米结构第17-18页
    1.5 本文的主要内容和架构第18-20页
第二章 理论与实验基础第20-28页
    2.1 严格耦合波分析理论第20页
    2.2 光学性能计算第20-21页
        2.2.1 平均反射率第20-21页
        2.2.2 最大化理想效率第21页
    2.3 电学性能计算第21-23页
        2.3.1 开路电压第22-23页
        2.3.2 短路电流第23页
        2.3.3 填充因子第23页
        2.3.4 转换效率第23页
    2.4 表面纳结构制备第23-25页
    2.5 电池性能表征第25-28页
        2.5.1 扫描电子显微镜第25-26页
        2.5.2 分光光度计第26-27页
        2.5.3 太阳光伏测试系统第27-28页
第三章 复合纳米结构第28-42页
    3.1 介质膜/Si复合锥形光栅第28-34页
        3.1.1 引言第28-29页
        3.1.2 仿真模型第29-30页
        3.1.3 结果与讨论第30-34页
        3.1.4 结论第34页
    3.2 SiN复合纳米结构第34-42页
        3.2.1 引言第34-35页
        3.2.2 实验制备和结构特性第35-36页
        3.2.3 结果与讨论第36-41页
        3.2.4 结论第41-42页
第四章GaAs电池表面纳米结构设计第42-50页
    4.1 GaAs电池材料结构第42-43页
    4.2 SiN复合纳结构设计第43-48页
        4.2.1 SiN薄膜厚度优化第45页
        4.2.2 SiN纳米锥直径优化第45-47页
        4.2.3 SiN纳米锥高度优化第47-48页
    4.3 GaAs基区厚度优化第48-49页
    4.4 本章小结第49-50页
第五章GaAs电池制备与表征第50-61页
    5.1 GaAs电池工艺流程第50-51页
    5.2 SiN表面复合纳结构制备第51-55页
        5.2.1 开窗口层第51-53页
        5.2.2 沉积SiN介质层第53-54页
        5.2.3 旋涂PS球第54页
        5.2.4 刻蚀纳结构第54-55页
    5.3 GaAs电池性能表征第55-60页
        5.3.1 表面反射率第56-58页
        5.3.2 光照J-V曲线与效率第58-60页
    5.4 本章小结第60-61页
第六章 总结第61-62页
参考文献第62-67页
攻读硕士学位期间公开发表的论文及科研成果第67-68页
致谢第68-69页

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