光伏材料氢化纳米硅中成键氢对材料结构及缺陷的影响
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-15页 |
| ·研究背景与现状 | 第13-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 氢化纳米硅薄膜的制备与表征手段 | 第15-34页 |
| ·硅基材料的分类 | 第15-17页 |
| ·硅基纳米材料的制备方法 | 第17-20页 |
| ·纳米硅的物性表征分析手段 | 第20-31页 |
| ·微观结构表征 | 第20-26页 |
| ·光学性质表征 | 第26-29页 |
| ·电学性质表征 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 氢化纳米硅的生长机理与制备工艺 | 第34-45页 |
| ·氢化纳米硅薄膜的生长机制 | 第34-37页 |
| ·氢化纳米硅的微观生长机制 | 第37-43页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积 | 第38-41页 |
| ·氢化纳米硅薄膜制备的工艺条件 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第四章 氢化纳米硅中成键氢对结构及缺陷的影响 | 第45-62页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·氢化纳米硅样品的制备 | 第45-46页 |
| ·氢化纳米硅样品的微结构表征 | 第46-49页 |
| ·氢化纳米硅薄膜的微结构分析 | 第49-51页 |
| ·氢化纳米硅薄膜中成键氢对薄膜结构及后氧化的影响 | 第51-56页 |
| ·氢化纳米硅薄膜后氧化对缺陷密度的影响 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第五章 氢化纳米硅的准分子激光晶化 | 第62-71页 |
| ·非晶硅的准分子激光晶化 | 第62-66页 |
| ·氢化纳米硅的准分子激光晶化 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-71页 |
| 第六章 结论 | 第71-73页 |
| ·本文的主要结论和创新点 | 第71-72页 |
| ·下一步的工作及展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文和所获荣誉 | 第74页 |
