| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 非晶合金概述 | 第11-14页 |
| 1.1.1 非晶合金的发展历史 | 第11-12页 |
| 1.1.2 非晶合金特点 | 第12页 |
| 1.1.3 非晶合金形成理论 | 第12-14页 |
| 1.2 非晶合金软磁材料 | 第14-16页 |
| 1.3 非晶态薄膜研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.1 非晶态薄膜发展与现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 非晶态软磁材料与晶态材料相比优势 | 第17-19页 |
| 1.4 非晶薄膜制备技术 | 第19-22页 |
| 1.4.1 真空蒸发法 | 第19页 |
| 1.4.2 溅射法 | 第19-20页 |
| 1.4.3 化学气相沉积法 | 第20页 |
| 1.4.4 脉冲激光沉积技术 | 第20-22页 |
| 1.5 目前存在的问题 | 第22-23页 |
| 1.6 非晶合金改性技术 | 第23-27页 |
| 1.6.1 非晶合金热处理改性研究 | 第23-25页 |
| 1.6.2 非晶合金高能束辐照改性研究 | 第25-27页 |
| 1.7 研究意义与内容 | 第27-29页 |
| 第2章 实验设备及测试仪器 | 第29-37页 |
| 2.1 脉冲激光沉积（PLD）原理 | 第29-30页 |
| 2.2 脉冲激光沉积（PLD）设备 | 第30-32页 |
| 2.2.1 真空系统 | 第30-31页 |
| 2.2.2 准分子激光器 | 第31-32页 |
| 2.3 Fe基合金靶材的制备 | 第32-33页 |
| 2.4 Fe基非晶合金薄膜制备 | 第33-34页 |
| 2.5 分析测试技术 | 第34-37页 |
| 2.5.1 XRD | 第34页 |
| 2.5.2 SEM | 第34页 |
| 2.5.3 AFM | 第34-35页 |
| 2.5.4 PPMS | 第35页 |
| 2.5.5 TEM | 第35-37页 |
| 第3章 薄膜厚度对Fe基非晶合金薄膜结构和磁性能影响 | 第37-50页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 Fe基非晶合金薄膜生长规律 | 第37-41页 |
| 3.3 Fe基非晶合金薄膜不同厚度下的表面形貌 | 第41-43页 |
| 3.4 Fe基非晶合金薄膜厚度对结构的影响 | 第43-45页 |
| 3.5 Fe基非晶合金薄膜厚度对粗糙度的影响 | 第45-47页 |
| 3.6 Fe基非晶合金薄膜厚度对磁性能的影响 | 第47-49页 |
| 3.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 沉积温度对Fe基合金薄膜结构及磁性能影响 | 第50-58页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 沉积温度对Fe基合金薄膜粗糙度的影响 | 第50-54页 |
| 4.3 沉积温度对Fe基合金薄膜结构的影响 | 第54-55页 |
| 4.4 沉积温度对Fe基合金薄膜磁性能的影响 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 退火温度对Fe基非晶合金薄膜结构及磁性能影响 | 第58-66页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 退火温度对Fe基非晶合金薄膜结构的影响 | 第58-60页 |
| 5.3 退火温度对Fe基非晶合金薄膜粗糙度的影响 | 第60-62页 |
| 5.4 退火温度对Fe基非晶合金薄膜磁性能的影响 | 第62-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 保温时间对Fe基非晶合金薄膜结构和磁性能影响 | 第66-74页 |
| 6.1 引言 | 第66页 |
| 6.2 保温时间对Fe基非晶合金薄膜粗糙度的影响 | 第66-68页 |
| 6.3 保温时间对Fe基非晶合金薄膜结构的影响 | 第68-70页 |
| 6.4 保温时间对Fe基非晶合金薄膜磁性能的影响 | 第70-73页 |
| 6.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 第7章 电子束辐照对Fe基非晶合金薄膜结构及磁性能的影响 | 第74-85页 |
| 7.1 引言 | 第74页 |
| 7.2 电子束辐照对Fe基非晶合金薄膜表面形貌的影响 | 第74-76页 |
| 7.3 电子束辐照对Fe基非晶合金薄膜结构的影响 | 第76-79页 |
| 7.4 电子束辐照对Fe基非晶合金薄膜磁性能的影响 | 第79-83页 |
| 7.5 本章小结 | 第83-85页 |
| 第8章 结论 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第95页 |
