| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 压电驱动装置的分类及研究现状 | 第13-24页 |
| 1.2.1 直动式压电驱动装置 | 第14-16页 |
| 1.2.2 步进式压电驱动装置 | 第16-24页 |
| 1.2.2.1 超声压电驱动装置 | 第16-18页 |
| 1.2.2.2 尺蠖压电驱动装置 | 第18-21页 |
| 1.2.2.3 摩擦惯性压电驱动装置 | 第21-24页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第24-27页 |
| 第2章 压电驱动技术基础理论 | 第27-42页 |
| 2.1 压电效应/逆压电效应 | 第27-28页 |
| 2.2 压电材料及压电元件 | 第28-35页 |
| 2.2.1 压电叠堆 | 第29-30页 |
| 2.2.2 压电叠堆动力学模型 | 第30-32页 |
| 2.2.3 压电叠堆迟滞特性研究 | 第32-35页 |
| 2.3 柔性铰链 | 第35-39页 |
| 2.3.1 柔性铰链的分类 | 第35-37页 |
| 2.3.2 柔性铰链的计算方法 | 第37-39页 |
| 2.4 精密直线/转角测量原理及误差分析 | 第39-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 尺蠖型压电驱动装置设计与试验研究 | 第42-64页 |
| 3.1 尺蠖型压电旋转驱动装置 | 第42-52页 |
| 3.1.1 运动原理 | 第42-43页 |
| 3.1.2 结构设计与分析 | 第43-47页 |
| 3.1.2.1 钳位单元 | 第44-45页 |
| 3.1.2.2 驱动单元 | 第45-46页 |
| 3.1.2.3 预紧单元 | 第46-47页 |
| 3.1.3 模态动力学分析 | 第47-48页 |
| 3.1.4 驱动装置输出特性试验测试 | 第48-52页 |
| 3.1.4.1 试验测试系统 | 第48-49页 |
| 3.1.4.2 试验测试结果 | 第49-52页 |
| 3.2 简化型尺蠖压电旋转驱动装置 | 第52-59页 |
| 3.2.1 结构设计及运动原理 | 第52-53页 |
| 3.2.2 结构分析 | 第53-56页 |
| 3.2.3 输出特性试验测试 | 第56-59页 |
| 3.2.3.1 试验测试系统 | 第56-57页 |
| 3.2.3.2 输出性能测试 | 第57-59页 |
| 3.3 尺蠖型压电驱动装置动力学模型 | 第59-63页 |
| 3.3.1 柔性铰链动力学模型 | 第59-60页 |
| 3.3.2 摩擦模型 | 第60页 |
| 3.3.4 尺蠖型压电旋转驱动装置动力学模型 | 第60-61页 |
| 3.3.5 MATLAB/Simulink仿真实验 | 第61-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 寄生惯性型压电驱动装置设计与试验研究 | 第64-94页 |
| 4.1 寄生惯性型压电旋转驱动装置 | 第64-76页 |
| 4.1.1 寄生惯性运动原理 | 第65-66页 |
| 4.1.2 桥式柔性铰链设计及计算 | 第66-70页 |
| 4.1.3 驱动装置输出特性试验测试 | 第70-73页 |
| 4.1.4 压电双伺服PID闭环控制系统 | 第73-76页 |
| 4.2 改进型寄生惯性式压电直线驱动装置 | 第76-83页 |
| 4.2.1 结构及运动原理 | 第76-77页 |
| 4.2.2 铰链设计及计算分析 | 第77-79页 |
| 4.2.3 输出性能试验测试 | 第79-83页 |
| 4.3 改进II型寄生惯性直线驱动装置 | 第83-89页 |
| 4.3.1 结构及运动原理 | 第83-84页 |
| 4.3.2 结构分析及计算 | 第84-86页 |
| 4.3.3 驱动装置输出性能试验测试 | 第86-89页 |
| 4.4 寄生惯性型压电驱动装置动力学模型 | 第89-93页 |
| 4.4.1 整机动力学模型建立 | 第89-91页 |
| 4.4.2 MATLAB/Simulink仿真对比分析 | 第91-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 压电驱动装置在显微操作中的应用 | 第94-102页 |
| 5.1 可用于光纤操作的全压电驱动型显微操作系统组建 | 第94-96页 |
| 5.1.1 系统要求 | 第94-95页 |
| 5.1.2 系统组成 | 第95-96页 |
| 5.2 压电微型夹持器设计制造 | 第96-98页 |
| 5.3 试验测试 | 第98-101页 |
| 5.3.1 压电微型夹持器输出位移试验 | 第98-99页 |
| 5.3.2 压电微型夹持器力信号检测单元试验 | 第99-100页 |
| 5.3.3 光导纤维微夹持操作试验 | 第100-101页 |
| 5.4 本章小结 | 第101-102页 |
| 第6章 总结与展望 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-112页 |
| 附录 | 第112-113页 |
| 作者简介与攻读学位期间的主要研究成果 | 第113-117页 |
| 致谢 | 第117页 |
