氮化硅球表面类金刚石膜高温摩擦学性能的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·论文研究背景 | 第9-10页 |
| ·类金刚石膜简介 | 第10-13页 |
| ·类金刚石膜的结构 | 第10-11页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第11-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-17页 |
| ·类金刚石膜摩擦磨损性能的研究现状 | 第13-15页 |
| ·类金刚石膜热稳定性的研究现状 | 第15-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 DLC膜的制备及性能表征 | 第18-25页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·DLC膜的制备 | 第18-20页 |
| ·非平衡磁控溅射原理 | 第18-19页 |
| ·DLC膜的制备过程 | 第19-20页 |
| ·DLC膜性能表征 | 第20-24页 |
| ·表面形貌表征 | 第20-21页 |
| ·表面粗糙度 | 第21-22页 |
| ·Raman光谱分析 | 第22-23页 |
| ·显微硬度测量 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 常温下氮化硅球表面DLC膜摩擦学性能的研究 | 第25-35页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验方案 | 第25-26页 |
| ·不同影响因素对DLC膜摩擦学性能的影响 | 第26-34页 |
| ·摩擦配副 | 第26-28页 |
| ·法向载荷 | 第28-31页 |
| ·滑动速度 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 氮化硅球表面DLC膜高温摩擦学性能的研究 | 第35-49页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·实验方案 | 第35-36页 |
| ·温度对DLC膜摩擦学性能的影响 | 第36-38页 |
| ·不同种类油润滑下DLC膜的高温摩擦学性能 | 第38-42页 |
| ·PFPE润滑下DLC膜的高温摩擦学性能 | 第42-45页 |
| ·DLC膜热应力理论计算分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 退火温度对DLC膜热稳定性及摩擦学性能的影响 | 第49-60页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·退火温度对DLC膜热稳定性的影响 | 第49-51页 |
| ·实验部分 | 第49页 |
| ·Raman光谱分析结果 | 第49-51页 |
| ·退火温度对DLC膜摩擦学性能的影响 | 第51-59页 |
| ·常温下DLC膜的摩擦学性能 | 第51-54页 |
| ·100℃下DLC膜的摩擦学性能 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 结论与展望 | 第60-63页 |
| ·主要研究结论 | 第60页 |
| ·研究展望 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
