基于扫描电子显微镜的纳米切削机理研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·研究背景及意义 | 第14-17页 |
| ·纳米切削研究现状 | 第17-22页 |
| ·基于超精密车床的纳米切削 | 第18-19页 |
| ·基于AFM的纳米加工 | 第19-21页 |
| ·分子动力学仿真研究纳米切削机理 | 第21-22页 |
| ·基于自主研发纳米切削系统的纳米切削研究 | 第22页 |
| ·纳米切削完整性研究现状 | 第22-25页 |
| ·存在的主要问题及课题来源 | 第25页 |
| ·研究内容 | 第25-28页 |
| ·主要研究内容 | 第25-26页 |
| ·论文框架 | 第26-28页 |
| 第二章 基于SEM原位纳米切削系统研制 | 第28-48页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·纳米切削加工要求及关键技术 | 第29-33页 |
| ·纳米切削系统设计及开发 | 第33-41页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第33-35页 |
| ·三维纳米移动台 | 第35-37页 |
| ·控制电源 | 第37-38页 |
| ·多维微动台 | 第38页 |
| ·纳米操纵手 | 第38-39页 |
| ·支撑件与连接件 | 第39-41页 |
| ·金刚石刀具制备 | 第41-46页 |
| ·聚焦离子束工作原理 | 第42-43页 |
| ·金刚石刀具制备 | 第43-46页 |
| ·纳米切削装置工作过程 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 纳米切削系统性能测试 | 第48-64页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·纳米切削系统刚度标定 | 第48-50页 |
| ·纳米切削系统精度测试 | 第50-54页 |
| ·定位精度测试 | 第50-53页 |
| ·重复定位精度测试 | 第53-54页 |
| ·蠕变性能测试 | 第54页 |
| ·双闭环控制漂移修正 | 第54-59页 |
| ·漂移修正方法 | 第54-57页 |
| ·漂移修正测试 | 第57-59页 |
| ·切削能力测试 | 第59-62页 |
| ·多自由度切削能力 | 第59-60页 |
| ·极限切削能力 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 典型单晶材料的纳米切削实验研究 | 第64-94页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·实验准备 | 第64-67页 |
| ·样品制备 | 第64-65页 |
| ·精密对刀工艺 | 第65-67页 |
| ·尺寸效应 | 第67-71页 |
| ·材料的尺寸效应 | 第67-69页 |
| ·刃口半径尺寸效应 | 第69-70页 |
| ·材料分离所需能量 | 第70-71页 |
| ·单晶铜纳米切削实验研究 | 第71-82页 |
| ·切削厚度对切屑形态的影响 | 第71-75页 |
| ·切屑变形系数的研究 | 第75-79页 |
| ·最小切削厚度研究 | 第79-82页 |
| ·脆性材料纳米切削实验研究 | 第82-92页 |
| ·切削厚度对脆性材料切屑形态的影响 | 第82-87页 |
| ·单晶硅脆塑转变临界厚度研究 | 第87-90页 |
| ·切屑变形系数的研究 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第五章 纳米切削加工表面完整性研究 | 第94-114页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·纳米切削拉曼光谱表征 | 第94-96页 |
| ·基于EBSD的纳米切削表面完整性研究 | 第96-104页 |
| ·EBSD工作原理 | 第96-97页 |
| ·EBSD样品制备 | 第97-99页 |
| ·扫描重复性分析 | 第99页 |
| ·晶面晶向确定 | 第99-102页 |
| ·不同加速电压的EBSD分析 | 第102-104页 |
| ·亚表面损伤厚度的EBSD表征 | 第104-107页 |
| ·单晶铜亚表面损伤 | 第104-106页 |
| ·单晶硅亚表面损伤 | 第106-107页 |
| ·纳米切削残余应力分析 | 第107-111页 |
| ·纳米切削晶格转动分析 | 第111页 |
| ·本章小结 | 第111-114页 |
| 第六章 总结与展望 | 第114-116页 |
| ·课题总结 | 第114-115页 |
| ·课题展望 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-125页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
